[发明专利]阵列基板及其制造方法在审

专利信息
申请号: 201710344017.2 申请日: 2017-05-16
公开(公告)号: CN107146809A 公开(公告)日: 2017-09-08
发明(设计)人: 张锋;刘文渠;吕志军;董立文;张世政;党宁 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司
主分类号: H01L27/32 分类号: H01L27/32;H01L27/12
代理公司: 北京安信方达知识产权代理有限公司11262 代理人: 张京波,曲鹏
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 阵列 及其 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种阵列基板,其特征在于,包括:

基底;

依次设置在基底上的平坦化层和像素定义层,所述平坦化层上设置有凸台,所述像素定义层设置有开口,所述凸台位于所述开口限定的区域内。

2.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,还包括阳极和隔离柱,所述阳极设置在所述平坦化层的凸台上,所述隔离柱设置在所述像素定义层上。

3.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述像素定义层的上表面高于所述凸台的上表面。

4.根据权利要求3所述的阵列基板,其特征在于,所述凸台的高度为1~3μm,所述像素定义层的厚度为1.4~3.6μm。

5.根据权利要求2所述的阵列基板,其特征在于,所述像素定义层的上表面高于所述阳极的上表面。

6.根据权利要求5所述的阵列基板,其特征在于,所述像素定义层的上表面与阳极的上表面之间的高度差为0.2~0.4μm。

7.一种阵列基板的制造方法,其特征在于,包括:

形成具有凸台的平坦化层;

形成像素定义层,所述像素定义层具有开口,所述凸台位于所述开口限定的区域内。

8.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于,还包括形成阳极和隔离柱的步骤,所述阳极形成在所述平坦化层的凸台上,所述隔离柱形成在所述像素定义层上。

9.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于,所述像素定义层的上表面高于所述凸台的上表面。

10.根据权利要求9所述的制备方法,其特征在于,所述凸台的高度为1~3μm,所述像素定义层的厚度为1.4~3.6μm。

11.根据权利要求8所述的制备方法,其特征在于,所述像素定义层的上表面高于所述阳极的上表面。

12.根据权利要求11所述的制备方法,其特征在于,所述像素定义层的上表面与阳极的上表面之间的高度差为0.2~0.4μm。

13.根据权利要求7~12任一所述的制备方法,其特征在于,所述形成具有凸台的平坦化层,包括:

涂覆平坦化薄膜;

采用半色调掩膜版对平坦化薄膜进行曝光并显影,在过孔位置为完全曝光区域,形成平坦化过孔,在开口区域为未曝光区域,形成凸台,其余位置为部分曝光区域,形成平坦化层。

14.一种显示面板,其特征在于,包括权利要求1~6任一所述的阵列基板。

15.一种显示装置,其特征在于,包括权利要求14所述的显示面板。

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