[发明专利]阵列基板及其制造方法在审
申请号: | 201710344017.2 | 申请日: | 2017-05-16 |
公开(公告)号: | CN107146809A | 公开(公告)日: | 2017-09-08 |
发明(设计)人: | 张锋;刘文渠;吕志军;董立文;张世政;党宁 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L27/12 |
代理公司: | 北京安信方达知识产权代理有限公司11262 | 代理人: | 张京波,曲鹏 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 阵列 及其 制造 方法 | ||
1.一种阵列基板,其特征在于,包括:
基底;
依次设置在基底上的平坦化层和像素定义层,所述平坦化层上设置有凸台,所述像素定义层设置有开口,所述凸台位于所述开口限定的区域内。
2.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,还包括阳极和隔离柱,所述阳极设置在所述平坦化层的凸台上,所述隔离柱设置在所述像素定义层上。
3.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述像素定义层的上表面高于所述凸台的上表面。
4.根据权利要求3所述的阵列基板,其特征在于,所述凸台的高度为1~3μm,所述像素定义层的厚度为1.4~3.6μm。
5.根据权利要求2所述的阵列基板,其特征在于,所述像素定义层的上表面高于所述阳极的上表面。
6.根据权利要求5所述的阵列基板,其特征在于,所述像素定义层的上表面与阳极的上表面之间的高度差为0.2~0.4μm。
7.一种阵列基板的制造方法,其特征在于,包括:
形成具有凸台的平坦化层;
形成像素定义层,所述像素定义层具有开口,所述凸台位于所述开口限定的区域内。
8.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于,还包括形成阳极和隔离柱的步骤,所述阳极形成在所述平坦化层的凸台上,所述隔离柱形成在所述像素定义层上。
9.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于,所述像素定义层的上表面高于所述凸台的上表面。
10.根据权利要求9所述的制备方法,其特征在于,所述凸台的高度为1~3μm,所述像素定义层的厚度为1.4~3.6μm。
11.根据权利要求8所述的制备方法,其特征在于,所述像素定义层的上表面高于所述阳极的上表面。
12.根据权利要求11所述的制备方法,其特征在于,所述像素定义层的上表面与阳极的上表面之间的高度差为0.2~0.4μm。
13.根据权利要求7~12任一所述的制备方法,其特征在于,所述形成具有凸台的平坦化层,包括:
涂覆平坦化薄膜;
采用半色调掩膜版对平坦化薄膜进行曝光并显影,在过孔位置为完全曝光区域,形成平坦化过孔,在开口区域为未曝光区域,形成凸台,其余位置为部分曝光区域,形成平坦化层。
14.一种显示面板,其特征在于,包括权利要求1~6任一所述的阵列基板。
15.一种显示装置,其特征在于,包括权利要求14所述的显示面板。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的