[发明专利]薄片队列微电极微细电火花加工方法及装置

说明书

本发明揭示了一种薄片队列微电极微细电火花加工方法及装置，薄片队列微电极包括多个依次队列排列的薄片微电极，在集肤效应的影响下，薄片微电极的加工端面被损耗为外凸弧形；薄片队列微电极微细电火花加工方法包括：通过薄片队列微电极上的薄片微电极依次对工件上与薄片微电极一一相应的位置进行微细电火花加工，在加工面上形成拟合表面。其中薄片队列微电极微细电火花加工方法中充分利用在常规薄片微电极的加工端面的圆角损耗特点，用以有效消除三维微结构表面的台阶效应，从而提高加工后拟合面的精度。消除三维微结构的台阶效应和平面特征拟合表面的圆角放电痕。

技术领域

本发明涉及到电火花加工领域，特别是涉及到一种薄片队列微电极微细电火花加工方法及装置。

背景技术

现有的将三维微电极离散成若干个薄片队列微电极，并使薄片队列微电极按照规划路径先后进行微细电火花加工方法，可以获得三维微结构。但是在实施的过程中存在以下问题：①薄片队列微电极微细电火花加工曲面特征时，获得的三维微结构表面会有台阶，而台阶会对三维微结构的形状精度产生不利影响；②薄片队列微电极微细电火花加工平面特征时，平面特征表面会出现圆角放电痕，而圆角放电痕会对平面特征的形状精度产生不利影响。

综上所述，为了提高薄片队列微电极微细电火花加工的拟合表面精度，需要将三维微结构表面的台阶效应和平面特征表面的圆角放电痕予以消除。

发明内容

本发明的主要目的为提供一种消除微结构表面电火花加工产生的台阶效应和圆角放电痕的薄片队列微电极微细电火花加工方法及装置。

本发明提出一种薄片队列微电极微细电火花加工方法，薄片队列微电极包括多个依次队列排列的薄片微电极，在集肤效应的影响下，薄片微电极的加工端面被损耗为外凸弧形；薄片队列微电极微细电火花加工方法包括：

通过薄片队列微电极上的薄片微电极依次对工件上与薄片微电极一一相应的位置进行微细电火花加工，在加工面上形成拟合表面。

进一步地，通过薄片队列微电极上的薄片微电极依次对工件上与薄片微电极一一相应的位置进行微细电火花加工，在加工面上形成拟合表面的步骤之后包括：

检测拟合表面精度是否达到精度阈值，若否，则按照设定增加微细电火花加工的工作电压。

进一步地，通过薄片队列微电极上的薄片微电极依次对工件上与薄片微电极一一相应的位置进行微细电火花加工，在加工面上形成拟合表面的步骤包括：

要使加工后的拟合表面为曲面或斜面时，通过第一薄片微电极沿薄片队列方向对工件进行微细电火花加工，在工件上得到第一个加工曲面；第一薄片微电极为第一个用于加工工件的薄片微电极；

依次由薄片队列微电极上第一薄片微电极后列的薄片微电极移动至工件的后一加工位置，对工件进行微细电火花加工；后一加工位置与其前一加工位置的加工曲面平行；薄片队列微电极对工件的加工曲面构成拟合表面。

进一步地，通过薄片队列微电极上的薄片微电极依次对工件上与薄片微电极一一相应的位置进行微细电火花加工，在加工面上形成拟合表面的步骤包括：

要使加工后的拟合表面为平面时，通过第一薄片微电极沿薄片队列方向对工件进行微细电火花加工，在工件上得到第一个加工曲面；第一薄片微电极为第一个用于加工工件的薄片微电极；

第一薄片微电极沿薄片队列微电极厚度方向做多次往返微细电火花加工；第一薄片微电极在其厚度方向的运动行程小于放电间隙；

薄片队列微电极上第一薄片微电极后列的薄片微电极按照第一薄片微电极的加工流程依次循环加工，得到最终的拟合表面。

进一步地，薄片队列微电极的薄片微电极的厚度为0.1mm。

进一步地，在薄片微电极的放电端面中，其放电部分的厚度为0.08mm，未放电的厚度为0.02mm。