[发明专利]碱性蚀刻液循环再生系统在审

专利信息
申请号: 201710346673.6 申请日: 2017-05-17
公开(公告)号: CN108301000A 公开(公告)日: 2018-07-20
发明(设计)人: 宋国和 申请(专利权)人: 佛山鑫仁源环保科技有限公司
主分类号: C23F1/46 分类号: C23F1/46;C22B3/02;C25C1/12;C25C7/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 528000 广东省佛山市南*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 水线 循环再生系统 碱性蚀刻液 蚀刻 蚀刻液 废液 氨水 油水混合液 废气污染 碱性蚀刻 系统处理 再生循环 最小线宽 电解液 废气线 净化水 可循环 再生液 萃取剂 反萃 回收率 排放
【权利要求书】:

1.碱性蚀刻液循环再生系统,其特征在于,包括有:

蚀刻液管线,所述蚀刻液管线包括有蚀刻生产线罐,所述蚀刻生产线罐经由蚀刻废液收集缸(T14)连接于蚀刻废液储存缸(T6)、并连接于萃取缸(MA);萃取缸(MA)连接于再生液油水分离缸(T8),再生液油水分离缸(T8)连接于萃取缸(MA),萃取缸(MA)连接于再生水油水分离缸(T3),再生水油水分离缸(T3)连接于水洗油缸(MD),水洗油缸(MD)中的再生液中转缸(T2)连接于再生液储存缸(T10);后路分为两支路,一支路连接于蚀刻废液储存缸(T6);另一支路连接于超滤系统(UF)、并经由再生液调药缸(T11)连接于再生液调药储存缸(T12)、并返回蚀刻生产线罐;再生液调药储存缸(T12)设有一条回流线连接于再生液调药缸(T11);

萃取剂管线,所述萃取剂管线包括有水洗油缸(MD),水洗油缸(MD)中的油缸(T1)连接于萃取缸(MA),萃取缸(MA)连接于水洗萃取缸(MB),水洗萃取缸(MB)连接于反萃缸(MC);

电解液线,所述电解液线中的反萃缸(MC),所述反萃缸(MC)中的电解液中转缸(T4连接于再生液循环缸(AC),再生液循环缸(AC)一支经由电解槽(EW)返回再生液循环缸(AC),再生液循环缸(AC)另一支经由反萃缸(MC)返回再生液循环缸(AC);

油水混合液线,所述油水混合液线中的反萃缸(MC)连接于水洗油缸(MD),反萃缸(MC)连接于油水搅拌静置缸(ME);

洗氨水洗水线,所述洗氨水洗水线中的洗氨水洗水储存缸(T17)连接于水洗萃取缸(MB),水洗萃取缸(MB)经由洗氨水洗水中转缸(T15)返回连接于洗氨水洗水储存缸(T17);所述洗氨水洗水储存缸(T17)还经由溢流线连接于洗氯水洗水储存缸(T16);

洗氯水洗水线,所述洗氯水洗水线包括有水洗萃取缸(MB),水洗萃取缸(MB)连接于水洗油缸(MD),水洗油缸(MD)中的再生水中转缸(T7)连接于洗氯水洗水储存缸(T16),洗氯水洗水储存缸(T16)经由溢流线连接于洗氨水洗水储存缸(T17);洗氨水洗水储存缸(T17)连接于水洗萃取缸(MB);

反萃水洗水线,所述反萃水洗水线包括有水洗油缸(MD)和油水搅拌静置缸(ME),水洗油缸(MD)和油水搅拌静置缸(ME)分别经由反萃水洗水收集缸(T22)连接于反萃水洗水储存缸(T18),反萃水洗水储存缸(T18)分别连接于油水搅拌静置缸(ME)和反萃缸(MC);反萃水洗水储存缸(T18)连接于环保池;

市水线,所述市水线连接于水洗萃取缸(MB);

废气线,所述废气线包括有电解槽(EW),电解槽(EW)连接于冷凝器,并经由冷凝器连接于废气塔,废气塔处理后气体达标排放;

DI水线,所述DI水线包括有DI水与除油水共用储存缸(T20),DI水与除油水共用储存缸(T20)经由超滤系统(UF)连接于蚀刻废液储存缸(T6)。

2.根据权利要求1所述的碱性蚀刻液循环再生系统,其特征在于,所述萃取缸(MA)包括有第一萃取缸(MA1)、第二萃取缸(MA2)和第三萃取缸(MA3)。

3.根据权利要求1所述的碱性蚀刻液循环再生系统,其特征在于,所述电解槽(EW)包括有第一电解槽(EW1)、第二电解槽(EW2)、第三电解槽(EW3)、第四电解槽(EW4)和第五电解槽(EW5)。

4.根据权利要求1所述的碱性蚀刻液循环再生系统,其特征在于,所述再生液油水分离缸(T8)包括有第一再生液油水分离缸(T8A)和第二再生液油水分离缸(T8B)。

5.根据权利要求1所述的碱性蚀刻液循环再生系统,其特征在于,所述洗氨水洗水中转缸(T15)包括有第一洗氨水洗水中转缸(T15A)和第二洗氨水洗水中转缸(T15B)。

6.根据权利要求1所述的碱性蚀刻液循环再生系统,其特征在于,所述再生液调药缸(T11)包括有第一再生液调药缸(T11A)和第二再生液调药缸(T11B)。

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