[发明专利]全自动量产型软膜复制设备在审
申请号: | 201710354497.0 | 申请日: | 2017-05-18 |
公开(公告)号: | CN108957947A | 公开(公告)日: | 2018-12-07 |
发明(设计)人: | 刘晓成;史晓华 | 申请(专利权)人: | 苏州光越微纳科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00 |
代理公司: | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人: | 黄丽莉 |
地址: | 215000 江苏省苏州市苏州工*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 软模板 生产机构 滑轨 搬运机构 点胶机构 复制设备 滑动设置 量产 软膜 工作效率 工作台 点胶 搬运 生产 | ||
1.全自动量产型软膜复制设备,其特征在于,包括:
工作台,在所述工作台上设有滑轨;
多个软模板生产机构,所述软模板生产机构设置于所述工作台上且分布于所述滑轨长度方向的一侧或两侧;
点胶机构,所述点胶机构滑动设置于所述滑轨上,用于为多个所述软模板生产机构进行点胶;
软模板搬运机构,所述软模板搬运机构滑动设置于所述滑轨上,用于将所述软模板生产机构生产的软模板进行搬运。
2.根据权利要求1所述的全自动量产型软膜复制设备,其特征在于,所述点胶机构和所述软模板搬运机构设置于同一机械臂上,该机械臂的底端与所述滑轨滑动连接。
3.根据权利要求2所述的全自动量产型软膜复制设备,其特征在于,在所述机械臂上设有高度调节组件。
4.根据权利要求3所述的全自动量产型软膜复制设备,其特征在于,在所述机械臂上设有水平垂直移动组件,所述点胶机构设置于该水平垂直移动组件上,所述水平垂直移动组件带动所述点胶机构进行水平方向和垂直方向上的移动。
5.根据权利要求1-4任一项所述的全自动量产型软膜复制设备,其特征在于,所述软模板搬运机构包括:吸盘以及设置于所述吸盘吸附面上的多个吸附孔,所述吸附孔与外接抽真空装置连接。
6.根据权利要求5所述的全自动量产型软膜复制设备,其特征在于,所述吸盘的吸附面为斜面。
7.根据权利要求1-4任一项所述的全自动量产型软膜复制设备,其特征在于,所述软模板生产机构包括:
硬模板固定板,用于放置硬模板;
环形定位圈,其设置于所述硬模板固定板的上方,与定位圈驱动装置传动连接,所述定位圈驱动装置驱动所述环形定位圈升降。
8.根据权利要求7所述的全自动量产型软膜复制设备,其特征在于,在所述环形定位圈内壁上设有抗粘层。
9.根据权利要求1-4任一项所述的全自动量产型软膜复制设备,其特征在于,还包括:设置于所述工作台上的一个或多个置料机构,所述软模板搬运机构将所述软模板生产机构生产的软模板搬运至所述置料机构,所述置料机构包括多个堆叠的料盘。
10.根据权利要求1-4任一项所述的全自动量产型软膜复制设备,其特征在于,还包括:设置于所述工作台上的增力机构和设置于所述增力机构下方的装胶桶。
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