[发明专利]全自动量产型软膜复制设备

说明书

本发明公开全自动量产型软膜复制设备，其包括：工作台，在工作台上设有滑轨；多个软模板生产机构，软模板生产机构设置于工作台上且分布于滑轨长度方向的一侧或两侧；点胶机构，点胶机构滑动设置于滑轨上，用于为多个软模板生产机构进行点胶；软模板搬运机构，软模板搬运机构滑动设置于滑轨上，用于将软模板生产机构生产的软模板进行搬运。本发明相较于现有技术，结构简单，省却人力，可以实现多个软模板生产机构同时工作，大大提高工作效率。

技术领域

本发明涉及一种全自动量产型软膜复制设备。

背景技术

纳米压印技术是微纳米器件制作工艺中的一个重要技术，纳米压印技术最早由Stephen Y Chou教授在1995年率先提出，这是一种不同于传统光刻技术的全新图形转移技术。纳米压印技术的定义为：不使用光线或者辐照使光刻感光成型，而是直接在硅衬底或者其他衬底上利用物理学的机理构造纳米尺寸图形。

软模板是一种简单方便的纳米压印模板复制材料，通常由本体材料和固化剂按一定比例混合而成，去除气泡后浇注在母模板表面，通过加热固化成弹性硅橡胶材料的工作模板。

目前纳米压印制作时，主要采用人工的方式制备软膜板，劳动强度大，工作效率低，容易影响后期压印效果。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明提出了全自动量产型软膜复制设备，其结构合理，省却人力，可以实现多个软模板生产机构同时工作，大大提高工作效率。

为了达到上述目的，本发明的技术方案如下：

全自动量产型软膜复制设备包括：工作台，在工作台上设有滑轨；多个软模板生产机构，软模板生产机构设置于工作台上且分布于滑轨长度方向的一侧或两侧；点胶机构，点胶机构滑动设置于滑轨上，用于为多个软模板生产机构进行点胶；软模板搬运机构，软模板搬运机构滑动设置于滑轨上，用于将软模板生产机构生产的软模板进行搬运。

本发明相较于现有技术，结构简单，省却人力，可以实现多个软模板生产机构同时工作，大大提高工作效率。

在上述技术方案的基础上，还可做如下改进：

作为优选的方案，点胶机构和软模板搬运机构设置于同一机械臂上，该机械臂的底端与滑轨滑动连接。

采用上述优选的方案，结构更简单，操作更便捷。

作为优选的方案，在机械臂上设有高度调节组件。

采用上述优选的方案，可以有效调节点胶结构和软模板搬运机构的高度，便于点胶和取料。

作为优选的方案，在机械臂上设有水平垂直移动组件，点胶机构设置于该水平垂直移动组件上，水平垂直移动组件带动点胶机构进行水平方向和垂直方向上的移动。

采用上述优选的方案，更便于点胶。

作为优选的方案，软模板搬运机构包括：吸盘以及设置于吸盘吸附面上的多个吸附孔，吸附孔与外接抽真空装置连接。

采用上述优选的方案，采用抽真空的揭取方式不会对软模板造成污染，保证后期的压印品质。

作为优选的方案，吸盘的吸附面为斜面。

采用上述优选的方案，采用具有斜面的吸附盘从软模板的边缘开始对软模板进行揭取，相较于平面式的揭取，该机构不易对软模板的边缘造成损伤。

作为优选的方案，软模板生产机构包括：硬模板固定板，用于放置硬模板；环形定位圈，其设置于硬模板固定板的上方，与定位圈驱动装置传动连接，定位圈驱动装置驱动环形定位圈升降。