[发明专利]一种放电管的镀膜方法在审
申请号: | 201710355058.1 | 申请日: | 2017-05-19 |
公开(公告)号: | CN107123583A | 公开(公告)日: | 2017-09-01 |
发明(设计)人: | 郭昭龙;赵海新 | 申请(专利权)人: | 西安钧盛新材料科技有限公司 |
主分类号: | H01J9/20 | 分类号: | H01J9/20 |
代理公司: | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙)44316 | 代理人: | 赵勍毅 |
地址: | 710018 陕西省西安市经*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 放电 镀膜 方法 | ||
1.一种放电管的镀膜方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1,配制硅烷醇混合溶液;
S2,将放电管完全浸入至所述硅烷醇混合溶液中;
S3,将所述放电管向上匀速提拉至所述放电管完全离开所述硅烷醇混合溶液,此时,所述放电管的内外壁上均匀覆盖有硅烷醇膜;
S4,对覆盖有硅烷醇膜的所述放电管进行梯度升温加热,得到具有二氧化硅膜的放电管。
2.根据权利要求1所述的放电管的镀膜方法,其特征在于,所述硅烷醇混合溶液由质量百分比为8%的正硅酸、5%的偏硅酸、50%的醇类溶剂、25.8%的乙酸甲酯、11%的乙酸乙酯和0.2%的五氧化二磷混合形成。
3.根据权利要求2所述的放电管的镀膜方法,其特征在于,所述醇类溶剂为甲醇、乙醇、异丙醇、正丁醇或丙二醇中的一种或多种的混合。
4.根据权利要求1所述的放电管的镀膜方法,其特征在于,步骤S3中的提拉速度为100-100000μm/min。
5.根据权利要求1所述的放电管的镀膜方法,其特征在于,步骤S4中的所述梯度升温加热为由50℃至640℃梯度升温,每个梯度的温度分别保持2秒至120分钟。
6.根据权利要求1所述的放电管的镀膜方法,其特征在于,步骤S3和步骤S4之间还包括步骤:采用空气或惰性气体对放电管进行吹干,以干燥步骤S3中放电管的内外壁上形成的硅烷醇膜。
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