[发明专利]改善PERC高效电池片外观的洗磷工艺

权利要求书

1.一种改善PERC高效电池片外观的洗磷工艺，其特征在于：该工艺包括以下步骤：

a、首先将硅片放入蚀刻槽进行蚀刻，去除硅片背面PN结，进行背面抛光；

b、再将蚀刻后的硅片放入水洗槽Ⅰ中用纯水进行清洗，把反应物和残酸冲洗掉，避免污染；

c、将清洗后的硅片放入碱槽进行碱洗，清除多孔硅及中和残酸；

d、然后将碱洗后的硅片放入循环加热的过氧化氢槽进行清洗，清洗硅片表面的有机物，其中，过氧化氢的浓度控制在40％±20％，过氧化氢槽内的温度控制在70℃±15℃；

e、将去除表面有机物后的硅片的放入水洗槽Ⅱ中用纯水进行清洗，把反应物和残碱去除掉，避免污染；

f、接着将清洗后的硅片放入酸槽进行酸洗，去除硅片正面的磷硅玻璃；

d、然后将酸洗后硅片的放入水洗槽Ⅲ中用纯水进行清洗，把反应物和残酸去除掉，避免污染；

g、最后将清洗后的硅片烘置入烘干槽中烘干。

2.根据权利要求1所述的改善PERC高效电池片外观的洗磷工艺，其特征在于：步骤a中，蚀刻槽中的溶液采用水、HF和HNO3复配而成。

3.根据权利要求1所述的改善PERC高效电池片外观的洗磷工艺，其特征在于：步骤c中，碱槽中放置KOH溶液。

4.根据权利要求1所述的改善PERC高效电池片外观的洗磷工艺，其特征在于：步骤f中，酸槽中放置HF溶液。