[发明专利]一种硅料回收清洗方法及装置

权利要求书

1.一种硅料回收清洗方法，其特征在于，包括步骤：回收后处理使用过的纯水用于前处理。

2.根据权利要求1所述的硅料回收清洗方法，其特征在于，所述后处理依次包括过度漂洗、粗超声漂洗以及细超声漂洗，至少回收所述过度漂洗、所述粗超声漂洗以及所述细超声漂洗中的一个使用过的纯水用于所述前处理。

3.根据权利要求2所述的硅料回收清洗方法，其特征在于，至少回收所述细超声漂洗使用过的纯水用于前处理。

4.根据权利要求1-3任一项所述的硅料回收清洗方法，其特征在于，所述前处理依次包括预冲洗、碱洗、粗纯水漂洗、酸洗以及细纯水漂洗，所述后处理中回收的纯水至少用于所述预冲洗、所述粗纯水漂洗以及所述细纯水漂洗中的一个。

5.根据权利要求4所述的硅料回收清洗方法，其特征在于，所述后处理中回收的纯水至少用于所述预冲洗。

6.根据权利要求1-3任一项所述的硅料回收清洗方法，其特征在于，所述步骤具体为：

A)将所述后处理中回收的纯水储存至蓄水槽中；

B)从所述蓄水槽中提取纯水用于前处理。

7.根据权利要求6所述的硅料回收清洗方法，其特征在于，所述蓄水槽中的水量不足时，向所述蓄水槽补充新鲜纯水。

8.一种硅料回收清洗装置，其特征在于，包括用于与后处理水槽连接的回收水管以及用于向前处理供水的供水管，所述回收水管与所述供水管连通。

9.根据权利要求8所述的硅料回收清洗装置，其特征在于，所述回收水管与所述供水管之间设置有蓄水槽。

10.根据权利要求9所述的硅料回收清洗装置，其特征在于，还包括液位感应装置、与所述液位感应装置的控制系统以及与所述控制系统连接的自动补水系统，所述液位感应装置设置于所述蓄水槽中并用于在所述蓄水槽中水位低于预设值时通过所述控制系统控制所述自动补水系统向所述蓄水槽补水。

11.根据权利要求9所述的硅料回收清洗装置，其特征在于，所述供水管与所述蓄水槽之间设置有增压水泵，所述增压水泵的入水口通过上水管与所述蓄水槽连通，所述增压水泵的出水口与所述供水管连通。

12.根据权利要求8-11任一项所述的硅料回收清洗装置，其特征在于，所述后处理水槽依次包括过度漂洗槽、粗超声漂洗槽以及细超声漂洗槽，所述回收水管至少与所述过度漂洗槽、所述粗超声漂洗槽以及所述细超声漂洗槽中的一个连通。

13.根据权利要求12所述的硅料回收清洗装置，其特征在于，所述回收水管至少与所述细超声漂洗槽连通。

14.根据权利要求8-11任一项所述的硅料回收清洗装置，其特征在于，所述供水管至少向所述前处理的预冲洗、粗纯水漂洗以及细纯水漂洗中的一个供水。

15.根据权利要求14所述的硅料回收清洗装置，其特征在于，所述供水管至少向所述前处理的预冲洗供水。