[发明专利]一种硅料回收清洗方法及装置

说明书

本发明公开了一种硅料回收清洗方法，包括步骤：回收后处理使用过的纯水用于前处理，利用前处理用水对洁净度要求较低的特点，回收后处理使用后的清洗水，供前处理清洗硅料使用，从而既满足前处理的清洁度要求，又能够达到降低耗水量，节约水资源，降低成本的目的。本发明还公开了一种硅料回收清洗装置。

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种硅料回收清洗方法及装置。

背景技术

高纯硅料是半导体行业和光伏行业的最基础原料，在行业中所占成本也较高，尤其是在光伏行业中，高纯硅料约占总成本的20％，因此，为节约成本，必须要对生产过程中产生的高纯硅边角料进行回收。

在生产时，首先将高纯多晶硅做成晶锭，即通过拉制单晶或铸锭多晶生产成单晶晶锭或多晶晶锭，每个晶锭都是只使用中间的芯部分，四周的硅料经过回收处理再次作为原料生产使用，回收四周硅料时，需要对四周硅料进行前处理以及后处理，其中，前处理主要用于去除表面杂质、油污等，后处理主要为多道纯水水洗，以达到洁净度要求，目前在处理过程中，前处理及后处理中的每道清洗工序均单独供应纯水，耗水量及排放量较大，水资源浪费较为严重。

因此，如何改善硅料回收处理方法，使其既能够满足硅料回收的洁净度要求，又能够降低耗水量，节约水资源，降低成本，成为本领域技术人员亟待解决的重要技术问题。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种硅料回收清洗方法及装置，以达到既能够满足硅料回收的洁净度要求，又能够降低耗水量，节约水资源，降低成本的目的。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种硅料回收清洗方法，包括步骤：回收后处理使用过的纯水用于前处理。

优选地，所述后处理依次包括过度漂洗、粗超声漂洗以及细超声漂洗，至少回收所述过度漂洗、所述粗超声漂洗以及所述细超声漂洗中的一个使用过的纯水用于所述前处理。

优选地，至少回收所述细超声漂洗使用过的纯水用于前处理。

优选地，所述前处理依次包括预冲洗、碱洗、粗纯水漂洗、酸洗以及细纯水漂洗，所述后处理中回收的纯水至少用于所述预冲洗、所述粗纯水漂洗以及所述细纯水漂洗中的一个。

优选地，所述后处理中回收的纯水至少用于所述预冲洗。

优选地，所述步骤具体为：

A)将所述后处理中回收的纯水储存至蓄水槽中；

B)从所述蓄水槽中提取纯水用于前处理。

优选地，所述蓄水槽中的水量不足时，向所述蓄水槽补充新鲜纯水。

一种硅料回收清洗装置，包括用于与后处理水槽连接的回收水管以及用于向前处理供水的供水管，所述回收水管与所述供水管连通。

优选地，所述回收水管与所述供水管之间设置有蓄水槽。

优选地，还包括液位感应装置、与所述液位感应装置的控制系统以及与所述控制系统连接的自动补水系统，所述液位感应装置设置于所述蓄水槽中并用于在所述蓄水槽中水位低于预设值时通过所述控制系统控制所述自动补水系统向所述蓄水槽补水。

优选地，所述供水管与所述蓄水槽之间设置有增压水泵，所述增压水泵的入水口通过上水管与所述蓄水槽连通，所述增压水泵的出水口与所述供水管连通。

优选地，所述后处理水槽依次包括过度漂洗槽、粗超声漂洗槽以及细超声漂洗槽，所述回收水管至少与所述过度漂洗槽、所述粗超声漂洗槽以及所述细超声漂洗槽中的一个连通。

优选地，所述回收水管至少与所述细超声漂洗槽连通。