[发明专利]真空干燥膜层的方法和显示器件有效
| 申请号： | 201710361240.8 | 申请日： | 2017-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN107201504B | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 许名宏 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/58 | 分类号： | C23C14/58;C23C14/12;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 姜怡;王卫忠 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 膜层 膜层材料 溶剂 基板 显示器件 冷凝 上盖板 软膜 溶剂蒸发 抽真空 再冷凝 溶质 固化 蒸发 平坦 重复 | ||
1.一种真空干燥膜层的方法，所述方法包括：
将其上形成有膜层材料的基板置于真空干燥环境中，其中膜层材料包含溶剂和用于形成膜层的溶质；
在第一阶段中使膜层材料中的溶剂蒸发并冷凝在上盖板上，其中膜层材料仍包含部分的溶剂，以形成具有流动性的软膜；
在第二阶段中使冷凝在上盖板上的溶剂的一部分再冷凝到基板上，使得基板上的软膜的流动性增大；以及
重复第一阶段和第二阶段，在形成表面基本平坦的膜层之后抽真空使溶剂完全蒸发且使膜层固化。
2.根据权利要求1所述的方法，其中，设置能够对基板进行温控的温控板，从而在第二阶段中启动温控板以使基板冷却。
3.根据权利要求1所述的方法，其中，在第一阶段中设定真空干燥环境的真空度，以使膜层材料中的溶剂蒸发并冷凝在上盖板上。
4.根据权利要求1所述的方法，其中，在第二阶段中，软膜的不均匀区域发生流动，从而趋于平坦化。
5.根据权利要求1所述的方法，其中，上盖板的温度是可调节的，其中，在第一阶段中降低上盖板的温度，在第二阶段中升高上盖板的温度。
6.根据权利要求1所述的方法，其中，上盖板具有独立的溶剂供应系统以形成独立的溶剂冷凝槽。
7.根据权利要求1所述的方法，其中，膜层材料是通过喷墨印刷而形成在基板上的。
8.根据权利要求1所述的方法，其中，在第一阶段中，上盖板与基板之间具有温度差，从而形成溶剂朝向上盖板冷凝的过程，在第二阶段中，上盖板和基板之间具有反向的温度差，从而形成冷凝在上盖板上的溶剂朝向基板冷凝的过程。
9.根据权利要求1所述的方法，其中，所述膜层是有机发光层。
10.一种显示器件，所述显示器件包括根据权利要求1所述的方法制备的膜层。
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