[发明专利]真空干燥膜层的方法和显示器件有效
申请号: | 201710361240.8 | 申请日: | 2017-05-19 |
公开(公告)号: | CN107201504B | 公开(公告)日: | 2019-04-05 |
发明(设计)人: | 许名宏 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/58 | 分类号: | C23C14/58;C23C14/12;H01L51/56 |
代理公司: | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人: | 姜怡;王卫忠 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 膜层 膜层材料 溶剂 基板 显示器件 冷凝 上盖板 软膜 溶剂蒸发 抽真空 再冷凝 溶质 固化 蒸发 平坦 重复 | ||
本公开提供了一种真空干燥膜层的方法和一种显示器件,所述方法包括:将其上形成有膜层材料的基板置于真空干燥环境中,其中膜层材料包含溶剂和用于形成膜层的溶质;在第一阶段中使膜层材料中的溶剂蒸发并冷凝在上盖板上,其中膜层材料仍包含特定量的溶剂,以形成具有流动性的软膜;在第二阶段中使冷凝在上盖板上的溶剂的一部分再冷凝到基板上,使得基板上的软膜的流动性增大;以及重复第一阶段和第二阶段,在形成表面基本平坦的膜层之后抽真空使溶剂完全蒸发且使膜层固化。
技术领域
本公开涉及显示技术领域,且更具体地涉及一种真空干燥膜层的方法和一种显示器件。
背景技术
由于有机发光二极管(OLED)具有高材料利用率、高效率等特点,应用于显示器时不需要精细金属掩模(FMM)或其他复杂的图案化工艺等特性,易于大面积制备以及全色显示等优点,所以有机发光二极管具有广阔的应用前景,受到人们的广泛关注,并且尤其适合大尺寸显示器的应用。
然而,在通过喷墨印刷来形成有机发光二极管的膜层例如有机层时,由于其成膜工艺涉及到液体墨水的干燥过程,最终的成膜状态受到众多因素(包括其他墨水与其溶剂的干燥过程)的影响,尤其溶剂的蒸气分布在像素区内是不均匀的,所以在喷墨印刷工艺中控制像素内的成膜均匀性具有很大的挑战性。
发明内容
为了解决上述问题中的至少一个,本公开提供了一种真空干燥膜层的方法和一种显示器件。
根据本公开的一方面,提供了一种真空干燥膜层的方法,所述方法包括:将其上形成有膜层材料的基板置于真空干燥环境中,其中膜层材料包含溶剂和用于形成膜层的溶质;在第一阶段中使膜层材料中的溶剂蒸发并冷凝在上盖板上,其中膜层材料仍包含特定量的溶剂,以形成具有流动性的软膜;在第二阶段中使冷凝在上盖板上的溶剂的一部分再冷凝到基板上,使得基板上的软膜的流动性增大;以及重复第一阶段和第二阶段,在形成表面基本平坦的膜层之后抽真空使溶剂完全蒸发且使膜层固化。
在本公开的一个实施例中,设置能够对基板进行温控的温控板,从而在第二阶段中启动温控板以使基板冷却。
在本公开的一个实施例中,在第一阶段中设定真空干燥环境的真空度,以使膜层材料中的溶剂蒸发并冷凝在上盖板上。
在本公开的一个实施例中,在第二阶段中,软膜的不均匀区域发生流动,从而趋于平坦化。
在本公开的一个实施例中,上盖板的温度是可调节的,其中,在第一阶段中降低上盖板的温度,在第二阶段中升高上盖板的温度。
在本公开的一个实施例中,上盖板具有独立的溶剂供应系统以形成独立的溶剂冷凝槽。
在本公开的一个实施例中,膜层材料是通过喷墨印刷而形成在基板上的。
在本公开的一个实施例中,在第一阶段中,上盖板与基板之间具有温度差,从而形成溶剂朝向上盖板冷凝的过程,在第二阶段中,上盖板和基板之间具有反向的温度差,从而形成冷凝在上盖板上的溶剂朝向基板冷凝的过程。
在本公开的一个实施例中,所述膜层是有机发光层。
根据本公开的另一方面,提供了一种显示器件,所述显示器件包括根据上面描述的方法制备的膜层。
通过采用本公开实施例的技术方案,能够解决印刷OLED膜层在干燥成膜过程中溶剂蒸气分布不均匀导致的像素内的膜厚均匀性差的问题。
附图说明
包括附图以提供对本公开的进一步理解,附图并入本申请并组成本申请的一部分,附图示出了本公开的实施例,并与描述一起用于解释本公开的原理。在附图中:
图1是示出现有技术中的对显示器件的膜层进行干燥的过程的示意图;
图2是示出现有技术中的形成的像素周边的部分区域的放大示意图;以及
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