[发明专利]用于蒸镀装置的载板及其蒸镀装置有效
| 申请号： | 201710368763.5 | 申请日： | 2017-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN107190245B | 公开（公告）日： | 2019-04-02 |
| 发明（设计）人： | 王震;黄俊杰;林治明;吕守华 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 牛南辉;李峥 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 装置 及其 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于蒸镀装置的载板，包括：
基板，其包括位于所述基板的用于承载待蒸镀部件的一侧的表面上的沟槽；以及
设置在所述沟槽中的冷却部件，
其中，所述冷却部件从所述基板的所述表面向外突出。
2.根据权利要求1所述的载板，其中，所述沟槽的沿与所述沟槽的延伸方向垂直的方向上的截面形状为长方形。
3.根据权利要求2所述的载板，其中，所述沟槽呈S形延伸。
4.根据权利要求3所述的载板，其中，所述沟槽遍及所述基板的所述表面均匀地弯折延伸。
5.根据权利要求1所述的载板，其中，所述载板还包括位于所述冷却部件与所述沟槽的底部之间的弹性元件。
6.根据权利要求5所述的载板，其中，所述弹性元件包括弹簧。
7.根据权利要求1所述的载板，其中，所述冷却部件的沿与所述冷却部件的延伸方向垂直的方向上的截面形状为长方形或圆形。
8.根据权利要求1所述的载板，其中，所述冷却部件为冷却管。
9.根据权利要求1所述的载板，其中，所述待蒸镀部件包括玻璃基板。
10.一种包括根据权利要求1至9中任一项所述的载板的蒸镀装置。
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