[发明专利]用于蒸镀装置的载板及其蒸镀装置

说明书

本发明涉及一种用于蒸镀装置的载板及其蒸镀装置。所述载板包括：基板，其包括位于所述基板的用于承载待蒸镀部件的一侧的表面上的沟槽；以及设置在所述沟槽中的冷却部件，其中，所述冷却部件从所述基板的所述表面向外突出。

技术领域

本发明的实施例涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种用于蒸镀装置的载板及其蒸镀装置。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，简称OLED)技术具有发光效率高、制作成本低、色域更广等等的优势，已成为替代液晶显示技术的潜力技术。在制备OLED的工艺过程中，使用真空蒸发镀膜法(简称真空蒸镀法)进行蒸镀。真空蒸镀法是在真空蒸镀室中通过蒸镀源对蒸镀材料进行加热，使蒸镀材料的原子或分子从其表面气化逸出形成蒸汽流，入射到待蒸镀部件表面，凝结形成固态薄膜的方法。真空蒸镀法已广泛应用于显示装置的制作过程，例如OLED显示面板的阴极、阳极以及位于阴极和阳极之间的发光材料层等。

发明内容

本发明的实施例提供了一种用于蒸镀装置的载板及其蒸镀装置，能够减少蒸镀过程中在蒸镀真空腔室中的静电的产生。

根据本发明的第一方面，提供一种用于蒸镀装置的载板。所述载板包括：基板，其包括位于所述基板的用于承载待蒸镀部件的一侧的表面上的沟槽；以及设置在所述沟槽中的冷却部件，其中，所述冷却部件从所述基板的所述表面向外突出。

在本发明的实施例中，所述沟槽的沿与所述沟槽的延伸方向垂直的方向上的截面形状可以为长方形。

在本发明的实施例中，所述沟槽可以呈S形延伸。

在本发明的实施例中，所述沟槽遍及所述基板的所述表面均匀地弯折延伸。

在本发明的实施例中，所述载板还可以包括位于所述冷却部件与所述沟槽的底部之间的弹性元件。

在本发明的实施例中，所述弹性元件可以包括弹簧。

在本发明的实施例中，所述冷却部件的沿与所述冷却部件的延伸方向垂直的方向上的截面形状可以为长方形或圆形。

在本发明的实施例中，所述冷却部件可以为冷却管。

在本发明的实施例中，所述待蒸镀部件可以为玻璃基板。

根据本发明的第二方面，提供一种包括在本发明的第一方面中描述的所述载板的蒸镀装置。

在本发明的实施例中，用于蒸镀装置的载板在其用于承载待蒸镀部件的一侧的表面上具有沟槽，该沟槽中设置有冷却部件，该冷却部件从载板的承载表面向外突出，能够减少载板与待蒸镀部件的接触面积，从而减少静电的产生。

适应性的进一步的方面和范围从本文中提供的描述变得明显。应当理解，本申请的各个方面可以单独或者与一个或多个其他方面组合实施。还应当理解，本文中的描述和特定实施例旨在仅说明的目的并不旨在限制本申请的范围。

附图说明

本文中描述的附图用于仅对所选择的实施例的说明的目的，并不是所有可能的实施方式，并且不旨在限制本申请的范围，其中：

图1是根据本发明的实施例的用于蒸镀装置的载板的平面示意图；

图2是根据本发明的实施例的沿图1中的线AA’截取的载板的截面图；

图3是根据本发明的实施例的沿图1中的线BB’截取的载板的截面图；以及

图4是根据本发明的另一实施例的沿图1中的线BB’截取的载板的截面图。

贯穿这些附图的各个视图，相应的参考编号指示相应的部件或特征。

具体实施方式