[发明专利]基板保持装置

权利要求书

1.一种基板保持装置，其在形成有在上表面开口的一个或多个通气孔的平板状的基体上，形成有自所述基体的上表面朝向上方突出的多个上表面凸部，其特征在于，

在所述基体上形成有在下表面开口并与所述通气孔连通的槽，形成有自所述槽的底面向下方突出的多个第1下表面凸部。

2.根据权利要求1所述的基板保持装置，其特征在于，

该基板保持装置以自所述基体的下表面向下方突出的方式形成有第1下表面环状凸部和第2下表面环状凸部，该第1下表面环状凸部呈环状地包围所述槽，该第2下表面环状凸部呈环状地包围所述第1下表面环状凸部，

在所述第1下表面环状凸部与所述第2下表面环状凸部之间形成有自所述基体的下表面朝向下方突出的第2下表面凸部。

3.根据权利要求2所述的基板保持装置，其特征在于，

所述第1下表面凸部的下端面和所述第2下表面凸部的下端面位于大致同一平面上，并且，所述第1下表面环状凸部的下端面和所述第2下表面环状凸部的下端面位于比所述第1下表面凸部和第2下表面凸部低1μm以上且5μm以下的位置。