[发明专利]体声波谐振器

权利要求书

1.一种体声波谐振器，包括：

谐振部，包括顺序地堆叠在基板上的第一电极层、压电层和第二电极层，其中，所述谐振部包括有效区域和非有效区域；以及

框架电极层，包括多个框架电极，所述多个框架电极被设置为在所述有效区域内沿着所述有效区域的外周部彼此分开，

其中，所述框架电极层还包括分别形成在相邻的框架电极之间的多个分开部，并且

其中，所述多个分开部的总长度与所述多个框架电极的总长度的比为20％至200％。

2.如权利要求1所述的体声波谐振器，其中，随着所述多个分开部的总长度增大，有效机电耦合系数的平方值增大。

3.如权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述多个分开部中的每个分开部的长度与所述多个框架电极中的每个框架电极的长度的比为20％至200％。

4.如权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述有效区域对应于所述第一电极层、所述压电层和所述第二电极层在竖直方向上重叠的区域。

5.如权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述第一电极层和所述第二电极层由金、钛、钽、钼、钌、铂、钨、铝、镍和铱以及它们的合金中的一种或任意组合形成。

6.如权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述压电层由氮化铝、氧化锌和锆钛酸铅中的一种形成。

7.如权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述压电层包含稀土金属，并且

所述稀土金属包括钪、铒、钇和镧中的至少一种。

8.如权利要求7所述的体声波谐振器，其中，所述压电层包含1at.％至20at.％的所述稀土金属。

9.一种体声波谐振器，包括：

谐振部，包括顺序地堆叠在基板上的第一电极层、压电层和第二电极层，其中，所述谐振部被分为有效区域和非有效区域；

框架电极层，包括多个凸出部和多个凹入部，所述多个凸出部和所述多个凹入部沿着所述有效区域的外周部分别交替地形成在所述有效区域内，

其中，所述多个凹入部的总长度与所述多个凸出部的总长度的比为20％至200％。

10.如权利要求9所述的体声波谐振器，其中，所述多个凸出部中的每个凸出部的厚度大于所述多个凹入部中的每个凹入部的厚度。

11.如权利要求9所述的体声波谐振器，其中，随着所述多个凹入部的总长度增大，有效机电耦合系数的平方值增大。

12.如权利要求9所述的体声波谐振器，其中，所述多个凹入部中的每个凹入部的长度与所述多个凸出部中的每个凸出部的长度的比为20％至200％。

13.如权利要求9所述的体声波谐振器，其中，所述有效区域对应于所述第一电极层、所述压电层和所述第二电极层在竖直方向上重叠的区域。

14.如权利要求9所述的体声波谐振器，其中，所述压电层包含稀土金属，并且所述稀土金属包括钪、铒、钇和镧中的一种或任意组合。

15.如权利要求14所述的体声波谐振器，其中，所述压电层包含1at.％至20at.％的所述稀土金属。

16.一种体声波谐振器，包括：

压电层，设置在基板上，并具有有效区域和非有效区域，其中，所述压电层设置在第一电极和第二电极之间；以及

框架电极层，在所述有效区域中设置在所述第二电极上，所述框架电极层包括环状布置的多个分开突起，

其中，所述多个分开突起之间的间隙的总长度与所述多个分开突起的总长度之间的比为20％至200％。