[发明专利]体声波谐振器

说明书

本发明提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器可包括：基板；谐振部，包括顺序地堆叠在基板上的第一电极层、压电层和第二电极层，所述谐振部被分为有效区域和非有效区域；以及框架电极层，包括多个框架电极，所述多个框架电极被设置为在所述有效区域内沿着所述有效区域的外周部彼此分开。

本申请要求于2016年8月12日在韩国知识产权局提交的第10-2016-0103168号韩国专利申请的优先权和权益，该韩国专利申请的全部公开内容出于所有目的通过引用包含于此。

技术领域

本公开涉及一种体声波谐振器。

背景技术

随着移动通信装置、化学和生物装置等最近快速的发展，对在上述装置中使用的紧凑并且重量轻的滤波器、振荡器、谐振元件和声学共振质量传感器的需求最近也已经增加。

体声波谐振器一般用于实现紧凑并且重量轻的滤波器、振荡器、谐振元件和声学共振质量传感器。体声波谐振器以低成本来批量生产并且可实现为非常小的尺寸。此外，体声波谐振器可实现为具有高品质因数Q值并且甚至可用在微频带中，尤其可在装置、个人通信系统(PCS)和数字无线系统(DCS)所使用的频带中实现。

体声波谐振器具有谐振部，所述谐振部通过在基板上顺序地堆叠下电极、压电层和上电极来实现。当电能被施加到第一电极和第二电极以在压电层内诱发电场时，电场在压电层中引起使谐振部沿预定方向振动的压电效应。作为结果，在与谐振部的振动方向相同的方向上产生声波，以引起谐振。

发明内容

提供本发明内容在于以简化形式介绍以下在具体实施方式中进一步描述的选择的发明构思。本发明内容不意图限定所要求保护的主题的关键特征或必要特征，本发明内容也不意图用于帮助确定所要求保护的主题的范围。

在一个总的方面，一种体声波谐振器包括谐振部和框架电极层。所述谐振部包括顺序地堆叠在基板上的第一电极层、压电层和第二电极层。所述谐振部具有有效区域和非有效区域。所述框架电极层包括多个框架电极，所述多个框架电极设置在所述有效区域内，以沿着所述有效区域的外周部彼此分开。

所述框架电极层还可包括分别形成在相邻的框架电极之间的多个分开部。

随着所述多个分开部的总长度增大，有效机电耦合系数的平方值可增大。

所述多个框架电极中的每个框架电极的长度与所述多个分开部中的每个分开部的长度的比可以为20％至200％。

所述有效区域可对应于所述第一电极层、所述压电层和所述第二电极层在竖直方向上重叠的区域。

所述第一电极层和所述第二电极层可由金(Au)、钛(Ti)、钽(Ta)、钼(Mo)、钌(Ru)、铂(Pt)、钨(W)、铝(Al)、镍(Ni)和铱(Ir)和它们的合金中的一种或任意组合形成。

所述压电层可由氮化铝(AlN)、氧化锌(ZnO)和锆钛酸铅(PZT；PbZrTiO)中的一种形成。

所述压电层可包含稀土金属，所述稀土金属可包括钪(Sc)、铒(Er)、钇(Y)和镧(La)中的至少一种。

所述压电层可包含1at.％至20at.％的所述稀土金属。

在另一总的方面，一种体声波谐振器包括谐振部和框架电极层。所述谐振部包括顺序地堆叠在基板上的第一电极层、压电层和第二电极层，所述谐振部被分为有效区域和非有效区域。所述框架电极层包括多个凸出部和多个凹入部，所述多个凸出部和所述多个凹入部沿着所述有效区域的外周部交替地形成且且分别形成在所述有效区域内。

所述多个凸出部中的每个凸出部的厚度可大于所述多个凹入部中的每个凹入部的厚度。

随着所述多个凹入部的总长度增大，有效机电耦合系数的平方值可增大。