[发明专利]内膜管状纳米电导体电热膜电热管的镀膜方法

说明书

背景技术

目前在纳米半导体电热膜行业里，主要分为外膜管状半导体电热和内膜管状半导体电热膜电热管(发热管)，外膜管状半导体电热管生产的企业较多，但总体来说，外膜半导体电热管电热管存在普遍的功率快速衰减的不稳定现象。内膜管状纳米半导体电热管，功率稳定性更好，但目前大多研发仍处在实验实小试及测试阶段，未能工业化量产。内膜管状纳米半导体电热膜仍处于实验室的小试及测试阶段，未能工业化量产。

发明内容

本发明的目的在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种解决内膜管状纳米半导体电热膜电热管的工业化量产的镀膜方法。

提供一种内膜管状纳米电导体电热膜电热管的镀膜方法，包括如下步骤：

A1、镀膜准备步骤：在镀膜前先启动下列系统：启动供气系统、

启动遂道炉加温系统给遂道炉升温；使炉内温度达至设定温度；

启动链条传送镀膜工件传送系统，喷镀工件检测排列管理系统，镀膜工件按设定的间隔时间步进进入遂道炉内加温升温；启动抽风系统及喷枪的冷却系统；

A2、将待镀电热管间隔放在链条传送镀膜工件传送系统的传送链条上，将镀膜工件送至限定的喷镀点，待工件喷镀完成后再走一步，传送链条系统为步进循环方案；喷镀工件定距排列，喷镀工件喷镀完成后链条前进一步，紧跟上的喷镀工件停留在上一个喷镀工件停留的位置，且与遂道炉的上、下、左、右的距离公差要小于1mm，以确保喷镀喷枪在喷镀时进入喷镀管件内喷镀里仍然保持对准中心线状态，以及导烟装置的导烟管套入喷镀管件的管口后不会因为喷镀件的过大位移导致碰撞管现象；

A3、当喷镀工件进入到喷镀点后，导烟装置进入喷镀点，导烟管口自动套在喷镀工件的管口处，喷枪沿导烟装置的导烟管中心线进入到喷镀工件的管内中心距离喷镀管管底约40～60mm处停止，供液系统开始供液，喷枪开始喷镀，喷镀启动后2～5秒钟后平稳的边喷边往后方移动，当喷枪枪嘴移动至喷镀件管口约10mm处时静止喷镀2～5秒钟，供液系统停止供液，在2～3秒内供气系统停止供气，进一步喷枪及导烟装置导烟管迅速退回至等待喷镀点等待下一个喷镀循环；

A4、喷镀后的喷镀工件进入老化恒温段老化；喷镀工件老化后出遂道炉冷却，镀膜结束。

本工业化的内膜纳米管状半导体电热膜电热管的镀膜方法，主要的工艺条件有：600镀高温遂道炉加温系统1，耐600镀以上的链条式步进管状镀膜工件传送系统，喷镀工件检测排列管理系统，导烟装置，喷镀系统和抽风过滤系统。

采用可耐600℃以上温度的链条式步进管状镀膜工件传送系统；本系统高温遂道炉加温系统：高温遂道炉分为三大部分升温加热，预热段、恒温保温段、恒温老化段；预热段主为是将连续镀膜的工件加温致镀膜所需的温度，确保每一个镀膜工件在喷镀膜前温度升至镀膜时所需的恒定温度；恒温保温段即为一次或两次及以上的喷镀工艺所要求的保温系统，确保喷镀工件在喷镀膜是温度恒定，且温度波动确保小于设定温度600℃的正负5度的温度公差；以保证每一个镀膜工件在传送的作用下经过每一个镀膜点时的温度一致，从而确保镀膜效果的一致性；恒温老化段即为镀膜工件镀膜后进一步在高温恒温下进行膜层老化，以确保纳米半导体镀膜层的稳定使用。的特点为传动电机为步进式控制，每进一步将镀膜工件送至限定的喷镀点，待工件喷镀完成后再走一步，传送链条系统为步进循环方案。喷镀工件定距排列，喷镀工件喷镀完成后镀条前进一步，紧跟上的喷镀工件停留在上一个喷镀工件停留的位置，且上下左右的位移公差要小于1mm，以确保喷镀喷枪在喷镀时进入喷镀管件内，喷镀时仍然保持对准中心线状态，以及导烟装置的导烟管套入喷镀管件的管口后不会因为喷镀件的过大位移导致碰撞管现象。

喷镀管检测排列管理系统：本系统主要的特点是针对喷镀管通过人工或自动放管器放置在喷镀管传送系统的传送架上后，对喷镀工件的探测，然后再进行排列，以提供数据给喷镀系统，确保喷镀系统中的喷枪进入喷镀点喷镀时必须有喷镀件，以避免无喷镀件进入喷镀点喷枪进入高温炉内误喷，从而导致喷枪在高温中损坏及喷镀液喷镀有遂道炉内堂内损坏设备。

导烟装置：导烟装置主要由导烟管及基座组成，在每次喷镀工件进入喷镀点后，导烟管在喷镀前要前往喷镀工件并套入喷镀工件的管口约至少5mm以上，导烟管的管口内孔要略大于喷镀管工件的管口，导烟管的内孔壁与喷镀管件的管口外圆之产的间隙要小于10mm以内，以确保喷镀过程中产生的烟雾不会溢到遂道炉内。从而损坏遂道炉膛及造成环境污染。