[发明专利]搬运装置及其搬运方法

权利要求书

1.一种搬运装置，其特征在于，包括可移动的运输机构、抓取机构、承载台以及驱动机构，所述驱动机构用于驱动所述承载台在所述运输机构上水平转动；所述承载台具有一个与水平面平行的承载面，所述承载面上周向设置有多个承载工位，所述承载工位用于放置待搬运物体，所述承载台的中心设有通孔；所述抓取机构用于取、放所述待搬运物体，且所述抓取机构穿过所述通孔与所述运输机构连接。

2.如权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，所述运输机构包括自动引导小车。

3.如权利要求2所述的搬运装置，其特征在于，所述运输机构还包括带有移动脚轮的承载框架，所述承载框架套设在所述自动引导小车上，用于承载所述承载台、驱动机构及抓取机构。

4.如权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，所述承载台为圆盘状结构。

5.如权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，所述承载工位上设置有与所述待搬运物体匹配连接的定位机构。

6.如权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，所述驱动机构包括传动机构以及与所述传动机构连接的驱动电机，所述传动机构连接所述承载台；所述传动机构用于在所述驱动电机的驱动下带动所述承载台转动。

7.如权利要求6所述的搬运装置，其特征在于，所述传动机构包括主动齿轮和从动齿轮，所述主动齿轮与所述驱动电机的驱动轴连接，所述从动齿轮上固定有所述承载台。

8.如权利要求7所述的搬运装置，其特征在于，所述主动齿轮与所述从动齿轮的啮合方式包括接触啮合或通过链条啮合。

9.如权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，所述搬运装置还包括与所述运输机构、所述抓取机构以及所述驱动机构连接的控制机构，所述控制机构用于控制所述承载台转动、所述运输机构运动以及所述抓取机构的工作状态。

10.如权利要求9所述的搬运装置，其特征在于，所述抓取机构包括机械手；所述控制机构包括传感器，所述传感器安装于所述机械手上，所述传感器用于获取对应工位的停放状态，所述控制机构根据所述停放状态，控制所述承载台的转动状态。

11.一种晶圆盒搬运装置，其特征在于，采用如权利要求1至10中任一项所述的搬运装置搬运所述晶圆盒。

12.一种使用如权利要求1-10中任一项所述搬运装置的搬运方法，其特征在于，所述搬运装置从物体存放处抓取待搬运物体或将所述待搬运物体搬运至所述物体存放处时，所述运输机构运动至所述物体存放处，选取所述承载面上面向所述物体存放处的位置为目标取放区，所述驱动机构可驱动所述承载台水平转动，将满足要求的承载工位转动至所述目标取放区，所述抓取机构始终在所述目标取放区的承载工位上取放所述待搬运物体。

13.一种使用如权利要求12所述的搬运方法的晶圆盒搬运方法，其特征在于，所述承载工位上设有识别晶圆盒上标识符的晶圆盒标识识别器，所述搬运装置将一目标晶圆盒搬运至物体存放处时，控制机构根据所述晶圆盒标识识别器反馈的信息确定所述目标晶圆盒所在承载工位，并判断所述承载工位是否在所述目标取放区，否则控制所述驱动机构驱动所述承载台水平转动，将承载有所述目标晶圆盒的承载工位转动至所述目标取放区。