[发明专利]搬运装置及其搬运方法

说明书

本发明提供一种搬运装置及其搬运方法，所述搬运装置包括可移动的运输机构、抓取机构、承载台以及驱动机构，所述搬运方法包括，所述搬运装置从物体存放处抓取待搬运物体或将所述待搬运物体搬运至所述物体存放处时，所述运输机构运动至所述物体存放处，选取所述承载面上面向所述物体存放处的位置为目标取放区，所述驱动机构可驱动所述承载台水平转动，将满足要求的承载工位转动至所述目标取放区，所述抓取机构始终在所述目标取放区的承载工位上取放所述待搬运物体。本发明提供的搬运装置及其搬运方法，使得抓取机构在每次抓取目标取放区的承载工位上的待搬运物体时，其运动轨迹能够相同，从而提升了搬运装置的搬运效率。

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，具体涉及一种搬运装置及其搬运方法。

背景技术

目前，全球范围内的一些半导体制造厂房普遍采用搬运装置来搬运晶圆盒，以代替传统的人工搬运。尤其对于8寸晶圆盒的搬运技术已日臻成熟，但针对12寸晶圆盒的搬运装置还不常见。现有的搬运装置多是通过带有机械臂的自动导引运输车(AutomatedGuided Vehicle，简称AGV)，移动到指定位置，再根据视觉测量结果控制机械臂对晶圆盒进行取放操作。

图1为一种搬运装置之机械臂高位布置的示意图，图2为图1所示机械臂的重心分布曲线图，图3为另一种搬运装置之机械臂低位布置的示意图。图1中，机械臂103安装在晶圆盒装载位置的上方，多个晶圆盒101上下垂直布置；具体的，机械臂103的末端设置有机械手102，机械手102水平端起晶圆盒101两边的把手或晶圆盒101顶部法兰，实现对晶圆盒101的取放；但是，机械臂103的重心位置较高，容易使搬运装置发生倾覆，同时搬运装置受机械臂103的最大有效载荷限制，在抓取12寸满载晶圆盒时易发生超载自保护。图1的机械臂103之重心分布如图2所示，横坐标是机械臂的重心位移，单位是毫米，纵坐标是机械臂的重心距地面的高度，单位是毫米；机械臂抓取晶圆盒并抬高时，机械臂重心的位置为图中的B点，随着机械臂的左右摆动，机械臂的重心也如图中所示在A点和B点之间移动，或在A点与C中之间移动。

图3中，机械臂203安装在晶圆盒装载位置下方一侧，多个晶圆盒201上下垂直布置；具体的，机械臂203的末端设置有机械手202，机械手202抓取晶圆盒201的顶部法兰，实现对晶圆盒201的取放；该搬运装置的机械臂203的运动路径较长，轨迹复杂，在机械臂203运动到某一位置时，其速度会突然增大，易导致该搬运装置停机，同时机械手202在取放晶圆盒201的过程中为了避免机械臂203和框架(未图示)干涉，必须增加大量的轨迹路线来进行避让，降低了搬运效率。

上述搬运方式单次最多只能运输两个晶圆盒，整体运载量小，而且随着12寸晶圆盒在生产中的广泛运用，对其搬运装置的要求也越来越高。因此，有必要开发一种能够满足小空间、大运量、统一轨迹、高效率的搬运装置及其搬运方法。

发明内容

本发明的目的在于提供一种搬运装置和搬运方法，以解决现有技术中针对晶圆盒的搬运效率低、单次搬运量小以及稳定性低等问题中的一个或多个。

为实现上述目的，本发明提供了一种搬运装置，包括可移动的运输机构、抓取机构、承载台以及驱动机构，所述驱动机构用于驱动所述承载台在所述运输机构上水平转动；所述承载台具有一个与水平面平行的承载面，所述承载面上周向设置有多个承载工位，所述承载工位用于放置待搬运物体，所述承载台的中心设有通孔；所述抓取机构用于取、放所述待搬运物体，且所述抓取机构穿过所述通孔与所述运输机构连接。

可选的，所述运输机构包括自动引导小车。

可选的，所述运输机构还包括带有移动脚轮的承载框架，所述承载框架套设在所述自动引导小车上，用于承载所述承载台、驱动机构及抓取机构。

可选的，所述承载台为圆盘状结构。

可选的，所述承载工位上设置有与所述待搬运物体匹配连接的定位机构。