[发明专利]体声波滤波器装置有效
申请号: | 201710402843.8 | 申请日: | 2017-06-01 |
公开(公告)号: | CN107733391B | 公开(公告)日: | 2021-03-12 |
发明(设计)人: | 千成钟 | 申请(专利权)人: | 三星电机株式会社 |
主分类号: | H03H9/02 | 分类号: | H03H9/02;H03H9/05;H03H9/10;H03H9/58 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 钱海洋;金光军 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 声波 滤波器 装置 | ||
1.一种体声波滤波器装置,包括:
第一基板;
第一滤波器,在所述体声波滤波器装置的腔内,所述第一滤波器设置在所述第一基板上;
第二基板,结合到所述第一基板;
第二滤波器,在所述腔内,所述第二滤波器设置在所述第二基板上并且面对所述第一滤波器;
第一电感器层,设置在所述第一基板上以及所述第一滤波器的周围;
第二电感器层,设置在所述第二基板上以及所述第二滤波器的周围,并结合到所述第一电感器层;及
密封构件,与所述第一电感器层和所述第二电感器层一起密封所述腔。
2.根据权利要求1所述的体声波滤波器装置,其中,所述第一电感器层和所述第二电感器层具有彼此对应的螺旋形状。
3.根据权利要求1所述的体声波滤波器装置,其中,所述密封构件形成在所述第一电感器层和所述第二电感器层的敞开区域中。
4.根据权利要求1所述的体声波滤波器装置,其中,所述密封构件包含多晶硅材料。
5.根据权利要求1所述的体声波滤波器装置,其中,所述第一电感器层的厚度大于所述第一电感器层的宽度,所述第二电感器层的厚度大于所述第二电感器层的宽度。
6.根据权利要求1所述的体声波滤波器装置,其中,所述第一基板包括设置在所述第一电感器层周围的蚀刻槽,所述第二基板包括设置在所述第二电感器层周围的蚀刻槽。
7.根据权利要求6所述的体声波滤波器装置,其中,所述蚀刻槽通过反应离子蚀刻形成。
8.根据权利要求1所述的体声波滤波器装置,其中,所述第一电感器层和所述第二电感器层包含铜和镍中的任意一种,并且通过镀覆形成。
9.根据权利要求8所述的体声波滤波器装置,其中,所述第一电感器层和所述第二电感器层通过共晶键合彼此结合。
10.根据权利要求1所述的体声波滤波器装置,所述体声波滤波器装置还包括设置在所述第一基板的底表面上且连接到过孔的连接垫。
11.根据权利要求1所述的体声波滤波器装置,其中,所述第一基板包括其上形成有所述第一电感器层以及所述密封构件的辅助层,所述第二基板包括其上形成有所述第二电感器层以及所述密封构件的辅助层。
12.根据权利要求11所述的体声波滤波器装置,其中,所述密封构件设置在所述辅助层的其上没有形成所述第一电感器层和所述第二电感器层的部分上。
13.根据权利要求1所述的体声波滤波器装置,所述体声波滤波器装置还包括:
第一结合层,在所述第一电感器层的外部,所述第一结合层设置在所述第一基板上;及
第二结合层,设置在所述第二基板上且结合到所述第一结合层。
14.一种体声波滤波器装置,包括:
第一基板;
第一滤波器,在所述体声波滤波器装置的腔内,所述第一滤波器设置在所述第一基板上;
第二基板,结合到所述第一基板;
第二滤波器,在所述腔内,所述第二滤波器设置在所述第二基板上并且面对所述第一滤波器;
电感器,具有螺旋形状并包括包围所述第一滤波器和所述第二滤波器的第一电感器层和第二电感器层;及
密封构件,密封所述电感器的一部分,以密封所述腔。
15.根据权利要求14所述的体声波滤波器装置,其中,所述第一基板包括设置在所述第一电感器层周围的蚀刻槽,所述第二基板包括设置在所述第二电感器层周围的蚀刻槽。
16.根据权利要求14所述的体声波滤波器装置,其中,所述第一电感器层的厚度大于所述第一电感器层的宽度,所述第二电感器层的厚度大于所述第二电感器层的宽度。
17.根据权利要求14所述的体声波滤波器装置,其中,所述密封构件包含多晶硅材料。
18.根据权利要求14所述的体声波滤波器装置,其中,所述电感器和所述密封构件结合到所述第一基板和所述第二基板。
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