[发明专利]密封门装置

权利要求书

1.一种密封门装置，用于对精密测长机的基板进出口进行密闭，其特征在于，包括：

一密封门，贴附于所述基板进出口所在平面，且可平移至所述基板进出口；以及

驱动机构，包括有驱动电机、齿轮以及连接于所述密封门两端的驱动螺杆；其中，

所述驱动电机连接所述齿轮，位于所述密封门至少一端的所述驱动螺杆套接于所述齿轮的中心，通过齿轮驱动所述驱动螺杆以自身中心线为轴旋转，使得所述密封门在所述驱动螺杆上移动。

2.根据权利要求1所述的密封门装置，其特征在于，所述密封门在所述基板进出口所在平面上垂直移动。

3.根据权利要求2所述的密封门装置，其特征在于，所述密封门的一端螺接第一驱动螺杆，所述密封门的相对另一端螺接第二驱动螺杆，所述第一驱动螺杆与所述第二驱动螺杆相互平行，并且，所述第一驱动螺杆与所述第二驱动螺杆均垂直于所述精密测长机底部。

4.根据权利要求3所述的密封门装置，其特征在于，所述驱动电机的输出轴连接第一齿轮，所述第一驱动螺杆套接于第二齿轮的中心，所述第一齿轮与所述第二齿轮相啮合。

5.根据权利要求4所述的密封门装置，其特征在于，所述第一驱动螺杆与所述第二驱动螺杆之间通过传动机构连接；

所述传动机构包括：

第一伞形齿轮，套接于所述第一驱动螺杆上；

第二伞形齿轮，与所述第一伞形齿轮相啮合，以改变所述第一伞形齿轮的传动方向；

第三伞形齿轮，套接于所述第二驱动螺杆上；

第四伞形齿轮，与所述第三伞形齿轮相啮合，以驱动所述第三伞形齿轮运转；以及

传动连杆，垂直于所述第一驱动螺杆及第二驱动螺杆，所述传动连杆的一端连接所述第二伞形齿轮，所述传动连杆的相对另一端连接所述第四伞形齿轮。

6.根据权利要求1所述的密封门装置，其特征在于，所述基板进出口所在平面上，位于所述密封门行程的一端设置有第一挡板，所述第一挡板内侧设置有第一缓冲垫，位于所述密封门行程的另一端设置有第二挡板，所述第二挡板内侧设置有第二缓冲垫。

7.根据权利要求1所述的密封门装置，其特征在于，所述基板进出口所在平面上设置有止位传感器，所述密封门上设置有与所述止位传感器相匹配的识别器，所述止位传感器电性连接所述驱动机构。

8.根据权利要求1所述的密封门装置，其特征在于，所述密封门的端部设置有连接套筒，所述连接套筒内表面形成有螺纹，所述连接套筒套设于所述驱动螺杆上，且与所述驱动螺杆螺接。

9.根据权利要求1所述的密封门装置，其特征在于，所述密封门朝向所述基板进出口的一端形成有斜面，所述斜面朝向所述基板进出口的外部。

10.根据权利要求9所述的密封门装置，其特征在于，所述密封门端部的斜面与所述密封门外表面的连接处形成圆弧过渡面。