[发明专利]密封门装置

说明书

技术领域

本发明涉及液晶显示面板制造领域，尤其涉及一种液晶显示面板测量设备的密封门。

背景技术

伴随液晶显示技术正在向高端精细方向发展，对于LTPS(Low Temperature Poly-silicon，简称：低温多晶硅)产品而言，黑色矩阵的线宽从10um到现在4～5um，规格要求越来越细，并且曝光遮罩的形状精度和位置精度的要求从4～5um到现在1.5～2um。对检测设备的精度也就要求更高，线宽检测精度在0.05um以内，精密测长机精度要求在0.3um，因此不仅需要对设备进行防震、测量镜头精度校准，而且最重要的是测量基板需放置于密闭恒温恒湿室中，对设备的温度要求在±0.1℃，防止温度对精密测长机测量误差带来较大影响。

通常无尘室的温度控制在23±0.5℃，精密测长机设备量测时，密封门打开，机械手将玻璃基板搬送到精密测长机腔室内，这一过程中腔室内与外界是相通的，若密封门关闭不够紧密，外界温度的变化对精密测长机的精度总是会有影响。

现有技术的精密测长机，用于封闭腔室的密封门为双开门设计，并且需要在精密测长机的表面设置轨道，轨道中存在缝隙，难以实现对腔室的紧密封闭，而且，密封门在开启及关闭的过程中，两扇门相对运动，两门之间空气流速加快，从而加速了腔室内外空气交换，导致腔室内温度不稳定，进一步影响精密测长机的测量精度。

发明内容

本发明提供一种密封门装置，为一体式密封门，能够对精密测长机的腔室进行较好地密封，以解决双开门式密封门的轨道设计会影响腔室密封效果，导致腔室内温度不稳定，进而影响测量精度的技术问题。

为解决上述问题，本发明提供的技术方案如下：

本发明提供一种密封门装置，用于对精密测长机的基板进出口进行密闭，其特征在于，包括：

一密封门，贴附于所述基板进出口所在平面，且可平移至所述基板进出口；以及

驱动机构，包括有驱动电机、齿轮以及连接于所述密封门两端的驱动螺杆；其中，

所述驱动电机连接所述齿轮，位于所述密封门至少一端的所述驱动螺杆套接于所述齿轮的中心，通过齿轮驱动所述驱动螺杆以自身中心线为轴旋转，使得所述密封门在所述驱动螺杆上移动。

根据本发明一优选实施例，所述密封门在所述基板进出口所在平面上垂直移动。

根据本发明一优选实施例，所述密封门的一端螺接第一驱动螺杆，所述密封门的相对另一端螺接第二驱动螺杆，所述第一驱动螺杆与所述第二驱动螺杆相互平行，并且，所述第一驱动螺杆与所述第二驱动螺杆均垂直于所述精密测长机底部。

根据本发明一优选实施例，所述驱动电机的输出轴连接第一齿轮，所述第一驱动螺杆套接于第二齿轮的中心，所述第一齿轮与所述第二齿轮相啮合。

根据本发明一优选实施例，所述第一驱动螺杆与所述第二驱动螺杆之间通过传动机构连接；其中

所述传动机构包括：

第一伞形齿轮，套接于所述第一驱动螺杆上；

第二伞形齿轮，与所述第一伞形齿轮相啮合，以改变所述第一伞形齿轮的传动方向；

第三伞形齿轮，套接于所述第二驱动螺杆上；

第四伞形齿轮，与所述第三伞形齿轮相啮合，以驱动所述第三伞形齿轮运转；以及

传动连杆，垂直于所述第一驱动螺杆及第二驱动螺杆，所述传动连杆的一端连接所述第二伞形齿轮，所述传动连杆的相对另一端连接所述第四伞形齿轮。

根据本发明一优选实施例，所述基板进出口所在平面上，位于所述密封门行程的一端设置有第一挡板，所述第一挡板内侧设置有第一缓冲垫，位于所述密封门行程的另一端设置有第二挡板，所述第二挡板内侧设置有第二缓冲垫。

根据本发明一优选实施例，所述基板进出口所在平面上设置有止位传感器，所述密封门上设置有与所述止位传感器相匹配的识别器，所述止位传感器电性连接所述驱动机构。

根据本发明一优选实施例，所述密封门的端部设置有连接套筒，所述连接套筒内表面形成有螺纹，所述连接套筒套设于所述驱动螺杆上，且与所述驱动螺杆螺接。

根据本发明一优选实施例，所述密封门朝向所述基板进出口的一端形成有斜面，所述斜面朝向所述基板进出口的外部。

根据本发明一优选实施例，所述密封门端部的斜面与所述密封门外表面的连接处形成圆弧过渡面。