[发明专利]一种光刻胶剥离液有效
| 申请号： | 201710404918.6 | 申请日： | 2017-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN107037698B | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 卢燕燕;张丽燕 | 申请（专利权）人： | 惠州达诚微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 广州市一新专利商标事务所有限公司 44220 | 代理人： | 赵志远 |
| 地址： | 516265 广东省惠州市惠阳区*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 剥离 | ||
【权利要求书】：
1.一种光刻胶剥离液，其特征在于，由有机胺、极性有机溶剂和添加剂组成，其中，各种成份的重量百分比为：
有机胺5至10wt％；
极性有机溶剂89.9至94.9wt％；
添加剂0.1至0.2wt％；
所述有机胺包括醇胺，醇胺为二乙醇胺和异丙醇胺中的一种；
所述极性有机溶剂为选自酰胺类和醇醚类中的至少一种；
所述酰胺类为选自N-甲基甲酰胺、N,N-二甲基甲酰胺、N-甲基吡咯烷酮中的至少一种；
所述醇醚类为选自二乙二醇乙醚、二乙二醇甲醚中的至少一种；
所述添加剂包括唑类化合物，唑类化合物为选自甲基苯并三氮唑、咪唑、吡唑中的至少一种。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于惠州达诚微电子材料有限公司，未经惠州达诚微电子材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201710404918.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：储能式现代电车双翼充电装置
- 下一篇：储能式现代电车单翼充电装置
