[发明专利]影像亮度重配模块及影像亮度重配方法

权利要求书

1.一种影像亮度重配模块，包括：

一开关器，其选择性地允许具一光强度分布的一第一图像通过，其中具有该光强度分布的该第一图像由一照明光束通过一光罩所形成；

一第一透镜，其中该第一图像藉由通过该第一透镜而被调整尺寸以形成一第二图像；

一数字微镜装置，其中该第二图像成像于该数字微镜装置的表面，并藉由该数字微镜装置形成具一重配光强度分布的一第三图像；

一第二透镜，其中该第三图像经该数字微镜装置输出至该第二透镜，并藉由通过该第二透镜而被调整尺寸以形成一第四图像；以及

一第三透镜，其中该第四图像藉由通过该第三透镜而被调整尺寸以形成一第五图像并输出至该影像亮度重配模块外。

2.如权利要求1所述的影像亮度重配模块，还包括一第一光导系统与一第二光导系统，其中该第一图像经该第一光导系统导引至该开关器，该第二光导系统设置于该第二透镜与该第三透镜之间，且该第四图像经该第二光导系统导引至该第三透镜。

3.如权利要求1所述的影像亮度重配模块，其中该开关器及该第一透镜设置于该数字微镜装置的一侧，该第二透镜设置于该数字微镜装置的另一侧。

4.如权利要求1所述的影像亮度重配模块，其中该数字微镜装置包括以阵列方式排列的复数个微型镜，且各该微型镜在该数字微镜装置操作时可分别具有不同的倾斜角。

5.如权利要求4所述的影像亮度重配模块，其中成像于该数字微镜装置表面的该第二图像被这些微型镜分割成复数个第一子图像与复数个第二子图像，这些第一子图像对应一第一部分的这些微型镜，这些第二子图像对应一第二部分的这些微型镜，在经过该数字微镜装置的一操作期间后，该数字微镜装置会完成输出该第三图像至该第二透镜，在该操作期间中，该第二部分的这些微型镜会变换倾斜角，并且在该操作期间结束时，该第一部分的这些微型镜的倾斜角不同于该第二部分的这些微型镜的倾斜角。

6.如权利要求5所述的影像亮度重配模块，其中在该操作期间结束时，该第一部分的这些微型镜会将这些第一子图像反射至该第二透镜，而该第二部分的这些微型镜会将该第二子图像反射至该第二透镜之外。

7.如权利要求1所述的影像亮度重配模块，还包括一吸收器，当该数字微镜装置形成具该重配光强度分布的该第三图像时，会将部分光线反射至该吸收器以进行光强度分布的重配。

8.如权利要求7所述的影像亮度重配模块，其中该吸收器设置于该数字微镜装置的上方。

9.如权利要求1所述的影像亮度重配模块，其中该数字微镜装置可水平地沿一第一方向及一第二方向移动，且该第一方向与该第二方向相交。

10.如权利要求1所述的影像亮度重配模块，其中该第一图像藉由通过该第一透镜而被放大形成该第二图像，该第三图像藉由通过该第二透镜而被缩小形成该第四图像，而该第四图像藉由通过该第三透镜而被放大形成该第五图像。

11.一种微影系统，包括：

一光源，用以提供一照明光束；

一聚光镜，用以汇聚该照明光束；

一成像部，用以承载一光罩，其中该光罩用以接收由该聚光镜所汇聚的该照明光束，且该照明光束在通过该光罩后会形成具一光强度分布的一第一图像；

一物镜，用以接收该第一图像，其中该物镜调整并输出该第一图像；以及

如权利要求1的影像亮度重配模块，其中该第一图像经该物镜传递至该影像亮度重配模块，再由该影像亮度重配模块输出该第五图像而投影至一基底上，且该影像亮度重配模块设置于该物镜与该基底之间。