[发明专利]激光光线的检查方法

权利要求书

1.一种激光光线的检查方法，其特征在于，该激光光线的检查方法包含如下的步骤：

准备步骤，将检查用板状物和支承基材隔着树脂层层叠而准备被加工物单元，该树脂层在被照射透过该检查用板状物的波长的激光光线时熔融；

改质层形成步骤，使该检查用板状物露出而将该被加工物单元保持在卡盘工作台的保持面上，按照将该激光光线从该检查用板状物的露出面会聚在该检查用板状物的内部的方式进行照射而在该检查用板状物的内部形成改质层；以及

检查步骤，在实施了该改质层形成步骤之后，对因透过了该检查用板状物的该激光光线而形成于该树脂层的熔融痕的状态进行检查，根据该熔融痕的总面积的大小来推测该激光光线的光轴的偏移的大小。

2.根据权利要求1所述的激光光线的检查方法，其特征在于，

在该改质层形成步骤中，在对照射该激光光线的位置在该保持面上的坐标进行了存储之后形成该改质层，

在该检查步骤中，在照射了该激光光线的该坐标和形成于该树脂层的该熔融痕的坐标存在偏移的情况下，判定为该激光光线相对于照射该激光光线的激光光线照射单元的光轴偏移。

3.根据权利要求2所述的激光光线的检查方法，其特征在于，

在该改质层形成步骤中，使该卡盘工作台和照射该激光光线的该激光光线照射单元在与该保持面平行的X轴方向和与该保持面平行并且与X轴方向垂直的Y轴方向上相对移动，在该检查用板状物的内部形成与X轴方向和Y轴方向平行的改质层，

在该检查步骤中，根据沿该X轴方向和该Y轴方向形成的该熔融痕与照射了该激光光线的位置的偏移，对该激光光线相对于该光轴的偏移方向进行判定。

4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的激光光线的检查方法，其特征在于，

该检查用板状物是玻璃基板，支承基材是硅晶片。