[发明专利]堆积物监视装置及真空泵

权利要求书

1.一种堆积物监视装置，是利用马达使转子旋转驱动而将气体排出并且反复执行多个工序的真空泵的堆积物监视装置，其特征在于包括：

状态判定部，判定所述真空泵是处于所述多个工序的状态中的哪一种规定排气状态；以及

堆积量判定部，输入表示在判定的所述规定排气状态下所述真空泵内的堆积物的量的堆积量指标，在所述堆积量指标为对应于判定的所述规定排气状态的允许堆积阈值以上时，判定为堆积过剩。

2.根据权利要求1所述的堆积物监视装置，其特征在于：

所述规定排气状态是气体流入至所述真空泵的通气状态或气体不流入至所述真空泵的非通气状态中的任一个状态。

3.根据权利要求2所述的堆积物监视装置，其特征在于：

使用所述马达的马达电流值及设置在所述真空泵的进气口侧的阀的开度中的任一个作为所述堆积量指标，

所述状态判定部基于所述马达电流值及所述阀的开度中的任一个，对所述通气状态及所述非通气状态进行判定。

4.一种堆积物监视装置，是利用马达使转子旋转驱动而将气体排出并且反复执行多个工序的真空泵的堆积物监视装置，其特征在于包括：

获取部，判定所述真空泵是处于所述多个工序的状态中的哪一种规定排气状态，所述规定排气状态是气体流入至所述真空泵的通气状态或气体不流入至所述真空泵的非通气状态中的任一个状态，并且所述获取部获取气体流入至所述真空泵的规定通气状态下的第一马达电流值、与所述规定通气状态之前或之后的非通气状态下的第二马达电流值；以及

判定部，在所述第一马达电流值与所述第二马达电流值之间的差分为对应于判定的所述规定排气状态的规定阈值以上的情况下，判定为所述真空泵的堆积物的堆积量过剩。

5.一种真空泵，其特征在于包括：

转子；

马达，使所述转子旋转驱动；以及

根据权利要求1至4中任一项所述的堆积物监视装置。