[发明专利]堆积物监视装置及真空泵

说明书

本发明提供一种堆积物监视装置及真空泵，能够更正确地判定堆积量是否过剩。堆积物监视部(25)包括：作为状态判定部的获取部(251)，判定泵主体(1)的排气状态是否为规定排气状态，即判定是通气状态或几乎无气流的状态中的哪一种排气状态；以及判定部(252)，输入表示泵内的堆积物的量的堆积量指标即马达电流值(I)，在规定排气状态下的堆积量指标(I)为允许堆积阈值以上时，判定为堆积过剩。

技术领域

本发明涉及一种堆积物监视装置及真空泵。

背景技术

在半导体或液晶的蚀刻工序(etching process)中，反应生成物会附着堆积在泵内部，结果存在如下问题，例如因泵转子(pump rotor)与堆积物接触而引起损伤，或在装置维护后，泵无法重新启动。

若生成物堆积在泵内部，则排气流路会局部地堵塞，由此，压力会局部地上升。因此，即使在泵进气口压或气体流量相同的条件下，马达负载也会增加，能够基于马达电流值的变化来推定生成物的堆积状况。

但是，在进行多个工序的制造工序中，存在利用多种工序气体与处理时间的组合而设定的多个工序步骤，这些工序步骤成为一边改变一边反复被执行的工序。因此，马达电流当前值本身会在短时间内发生变化，即使在相同条件的工序中，电流值也会以稍小的幅度而发生变化，因此，难以对于马达电流当前值的变化量设定阈值。

因此，作为正确地对生成物的堆积状况进行检测的方法，已提出了像专利文献1所记载的发明那样的方法。在此检测方法中设置健康检查模式(health check mode)，并使用此时所检测的马达电流当前值的变化量，所述健康检查模式固定地设定流入至泵的气体流量与气体种类。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]国际专利公开第2011/145444号

发明内容

[发明所要解决的问题]

但是，为了设置如上所述的健康检查模式，会产生设置测定用的气体供应装置的负担、或装置的操作模式的追加或变更等负担，成本上升成为问题。

[解决问题的技术手段]

本发明的优选实施方式的堆积物监视装置是利用马达使转子旋转驱动而将气体排出的真空泵的堆积物监视装置，其包括：状态判定部，判定所述真空泵是否处于规定排气状态；以及堆积量判定部，输入表示所述真空泵内的堆积物的量的堆积量指标，在所述规定排气状态下的所述堆积量指标为允许堆积阈值以上时，判定为堆积过剩。

在更优选的实施方式中，所述规定排气状态是气体流入至所述真空泵的通气状态、或气体不流入至所述真空泵的非通气状态中的任一个状态。

在更优选的实施方式中，使用所述马达的马达电流值及设置在所述真空泵的进气口侧的阀的开度中的任一个作为所述堆积量指标，所述状态判定部基于所述马达电流值及所述阀的开度中的任一个，对所述通气状态及所述非通气状态进行判定。

本发明的优选实施方式的堆积物监视装置是利用马达使转子旋转驱动而将气体排出的真空泵的堆积物监视装置，其包括：获取部，获取气体流入至所述真空泵的规定通气状态下的第一马达电流值、与所述规定通气状态之前或之后的非通气状态下的第二马达电流值；以及判定部，在所述第一马达电流值与所述第二马达电流值之间的差分为规定阈值以上的情况下，判定为所述真空泵的堆积物的堆积量过剩。

本发明的优选实施方式的真空泵包括转子、使所述转子旋转驱动的马达及任一个所述堆积物监视装置。

[发明的效果]

根据本发明，能够精度良好地对堆积量的变化进行检测，从而能够更正确地判定堆积量是否过剩。

附图说明