[发明专利]蒸镀系统和蒸镀系统的蒸镀方法

权利要求书

1.一种蒸镀系统，其特征在于，包括：

至少一条蒸镀线，每条所述蒸镀线包括蒸镀腔室，所述蒸镀腔室包括多个子蒸镀腔，多个所述子蒸镀腔依次相连，所述蒸镀腔室的一端形成有蒸镀线入口、另一端形成有蒸镀线出口，所述子蒸镀腔内设有蒸发源组件；

第一传送轨道，所述第一传送轨道穿设在所述蒸镀线入口和所述蒸镀线出口之间，所述第一传送轨道位于所述蒸发源组件的上方；

托盘，所述托盘包括用于放置工件的托架，所述托盘可移动地设在所述第一传送轨道上以在所述蒸镀线入口和所述蒸镀线出口之间传送所述工件使所述蒸发源组件对所述工件进行蒸镀。

2.根据权利要求1所述的蒸镀系统，其特征在于，还包括：

第二传送轨道，所述第二传送轨道设在所述蒸镀腔室外，所述第二传送轨道与所述第一传送轨道围成环形轨道以使所述托盘在所述蒸镀线入口和所述蒸镀线出口之间循环移动。

3.根据权利要求2所述的蒸镀系统，其特征在于，所述蒸镀线为多条，所述第二传送轨道连接在相邻的两条所述蒸镀线之间，所述第二传送轨道的一端与相邻的两条所述蒸镀线中的其中一条所述蒸镀线的所述蒸镀线出口相连、另一端与相邻的两条所述蒸镀线中的另一条所述蒸镀线的所述蒸镀线入口相连以在多条所述蒸镀线之间形成所述环形轨道。

4.根据权利要求1所述的蒸镀系统，其特征在于，所述蒸镀线还包括：

入口过渡腔，所述入口过渡腔位于所述蒸镀线入口的上游，所述入口过渡腔和所述蒸镀线入口之间设有至少一个第一对位机构，所述第一对位机构被构造成对所述工件进行预对位。

5.根据权利要求4所述的蒸镀系统，其特征在于，所述蒸镀线还包括：

掩膜板，所述掩膜板设在所述工件和所述蒸发源组件之间；

至少一个所述子蒸镀腔内设有第二对位机构，所述第二对位机构被构造成对所述工件进行对位以使所述工件的待蒸镀区对准所述掩膜板的图案。

6.根据权利要求5所述的蒸镀系统，其特征在于，所述第二对位机构包括：

对位板，所述对位板位于所述第一传送轨道的上方，所述对位板上设有向下延伸的对位部；

控制器，所述控制器与所述对位板相连，所述控制器被构造成控制所述对位板移动以使所述对位部对所述工件进行对位；和

弹性调节机构，所述弹性调节机构设在所述托盘的底部。

7.根据权利要求6所述的蒸镀系统，其特征在于，所述对位部为两个，两个所述对位部间隔设置，且在从上到下的方向上，两个所述对位部彼此相对的一侧表面分别朝向远离彼此的方向倾斜延伸。

8.根据权利要求1所述的蒸镀系统，其特征在于，所述蒸镀线还包括：

多个掩膜板室，每个所述掩膜板室内设有多个掩膜板，多个所述掩膜板室与多个所述子蒸镀腔一一对应，所述掩膜板室和与其对应的所述子蒸镀腔之间设有连通通道，所述掩膜板在所述连通通道内可移动以对所述子蒸镀腔内的所述掩膜板进行更换；

更换装置，所述更换装置在所述掩膜板室和与其对应的所述子蒸镀腔之间可移动，所述更换装置被构造成将所述子蒸镀腔内的所述掩膜板取出并将所述掩膜板室内的所述掩膜板运输到所述子蒸镀腔内以更换所述子蒸镀腔内的所述掩膜板。

9.根据权利要求8所述的蒸镀系统，其特征在于，所述更换装置包括推拉杆，所述推拉杆在所述掩膜板室和与其对应的所述子蒸镀腔之间可移动，所述掩膜板的邻近所述推拉杆的侧壁上设有配合孔，所述推拉杆适于伸入所述配合孔内以在所述推拉杆移动时带动所述掩膜板移动。

10.一种根据权利要求1-9中任一项所述的蒸镀系统的蒸镀方法，其特征在于，包括以下步骤：

将所述工件放置在所述蒸镀线入口处的所述托盘上；

所述工件随所述托盘进入所述蒸镀腔室并在多个所述子蒸镀腔之间依次移动以对所述工件进行蒸镀；

蒸镀后的所述工件随所述托盘移动至所述蒸镀线出口外；

将蒸镀后的所述工件从所述托盘中取出，并将所述工件送至下一个工序。