[发明专利]蒸镀系统和蒸镀系统的蒸镀方法有效
申请号: | 201710439046.7 | 申请日: | 2017-06-12 |
公开(公告)号: | CN107254673B | 公开(公告)日: | 2019-07-19 |
发明(设计)人: | 尹志中 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C14/24;C23C14/04 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 黄德海 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 系统 方法 | ||
本发明公开了一种蒸镀系统和蒸镀系统的蒸镀方法,蒸镀系统包括:至少一条蒸镀线、第一传送轨道和托盘,每条蒸镀线包括蒸镀腔室,蒸镀腔室包括多个子蒸镀腔,多个子蒸镀腔依次相连,蒸镀腔室的一端形成有蒸镀线入口、另一端形成有蒸镀线出口,子蒸镀腔内设有蒸发源组件;第一传送轨道穿设在蒸镀线入口和蒸镀线出口之间,第一传送轨道位于蒸发源组件的上方;托盘包括用于放置工件的托架,托盘可移动地设在第一传送轨道上以在蒸镀线入口和蒸镀线出口之间传送工件使蒸发源组件对工件进行蒸镀。根据本发明实施例的蒸镀系统,优化了蒸镀线的布局,简化了操作步骤,提高了空间利用率,减小了蒸镀系统的整体占用空间和成本。
技术领域
本发明涉及蒸镀技术领域,尤其是涉及一种蒸镀系统和蒸镀系统的蒸镀方法。
背景技术
相关技术中,蒸镀系统的子蒸镀腔位于传送装置的两侧,并通过机械手做旋转运动在子蒸镀腔之间、子蒸镀腔与传送腔室之间传递工件,整个蒸镀系统中的机械手数量多,占用空间大且操作复杂,同时蒸镀系统的空间利用率不高,空间浪费现象严重、布局不合理。
发明内容
本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此,本发明提出一种蒸镀系统,所述蒸镀系统的布局合理、操作简单。
本发明的另一个目的在于提出了一种蒸镀系统的蒸镀方法。
根据本发明第一方面实施例的蒸镀系统,包括:至少一条蒸镀线,每条所述蒸镀线包括蒸镀腔室,所述蒸镀腔室包括多个子蒸镀腔,多个所述子蒸镀腔依次相连,所述蒸镀腔室的一端形成有蒸镀线入口、另一端形成有蒸镀线出口,所述子蒸镀腔内设有蒸发源组件;第一传送轨道,所述第一传送轨道穿设在所述蒸镀线入口和所述蒸镀线出口之间,所述第一传送轨道位于所述蒸发源组件的上方;托盘,所述托盘包括用于放置工件的托架,所述托盘可移动地设在所述第一传送轨道上以在所述蒸镀线入口和所述蒸镀线出口之间传送所述工件使所述蒸发源组件对所述工件进行蒸镀。
根据本发明实施例的蒸镀系统,通过使得蒸镀腔室的多个子蒸镀腔依次相连,并在蒸镀系统中设置第一传送轨道和托盘,使得托盘在第一传送轨道上移动以在各子蒸镀腔传递工件,省去了相关技术中设置在各子蒸镀腔之间用于传递工件的机械手和机械手在各子蒸镀腔之间的传递工序,简化了操作步骤,降低了工件在传递过程中破碎的风险,减小了工件与正常蒸镀位置之间的偏差,降低了对位工序的难度,同时优化了蒸镀线的布局,提高了空间利用率,使得蒸镀线的结构更加紧凑、布局更加合理,减小了蒸镀系统的整体占用空间和成本。
根据本发明的一些实施例,所述蒸镀系统还包括:第二传送轨道,所述第二传送轨道设在所述蒸镀腔室外,所述第二传送轨道与所述第一传送轨道围成环形轨道以使所述托盘在所述蒸镀线入口和所述蒸镀线出口之间循环移动。
根据本发明的一些具体实施例,所述蒸镀线为多条,所述第二传送轨道连接在相邻的两条所述蒸镀线之间,所述第二传送轨道的一端与相邻的两条所述蒸镀线中的其中一条所述蒸镀线的所述蒸镀线出口相连、另一端与相邻的两条所述蒸镀线中的另一条所述蒸镀线的所述蒸镀线入口相连以在多条所述蒸镀线之间形成所述环形轨道。
根据本发明的另一些具体实施例,所述第二传送轨道连接在每条所述蒸镀线的所述蒸镀线出口和所述蒸镀线入口之间以在每条所述蒸镀线之间形成所述环形轨道。
可选地,所述环形轨道形成为多边形轨道。
根据本发明的一些实施例,多条所述蒸镀线的所述第一传送轨道和所述第二传送轨道围成方形的所述环形轨道。
具体地,所述蒸镀线为两条,两条所述蒸镀线的所述蒸镀腔室相互平行,且两条所述蒸镀线中的所述工件的移动方向相反。
可选地,所述第一传送轨道和所述第二传送轨道均为滚珠丝杠导轨。
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