[发明专利]MEMS麦克风贴膜设备

权利要求书

1.一种MEMS麦克风贴膜设备，其特征在于，包括：

取料机构，包括用于吸取MEMS麦克风的取料吸嘴组，以及用于驱动该取料吸嘴组移动的取料驱动装置，所述取料吸嘴组包括若干取料吸嘴；

载料机构，包括转盘和驱动该转盘转动的转盘驱动装置，其中，该转盘上设有至少两组的工位组，每组所述工位组包括与所述取料吸嘴数量相同的工位，该工位用于放置所述MEMS麦克风，且每一所述工位的大小和形状与所述MEMS麦克风适配；

送膜机构，包括送膜轮、收膜轮、位于所述送膜轮与收膜轮之间的压膜装置，以及用于驱动所述送膜轮和/或收膜轮的送膜驱动装置，其中，膜带的两端分别缠绕在所述送膜轮和收膜轮上，且所述膜带的中段被夹持在所述压膜装置上；

校准机构，包括CCD、角度校准装置和用于驱动所述角度校准装置转动的角度驱动装置，其中，所述压膜装置设置在所述角度校准装置上，所述CCD位于所述角度校准装置的下方；以及

贴膜机构，位于压膜装置上方，其包括用于将膜带上的膜片铲起的铲刀、用于吸起所述膜片的吸嘴，以及驱动所述铲刀和吸嘴的贴膜驱动装置。

2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风贴膜设备，其特征在于，所述压膜装置包括沿所述膜带的长度方向位于所述CCD两侧的第一压膜件和第二压膜件。

3.根据权利要求2所述的MEMS麦克风贴膜设备，其特征在于，所述角度校准装置呈盘状设置，在所述角度校准装置的中心位置开设有通孔，所述CCD位于该通孔的正下方，位于所述第一压膜件和第二压膜件之间的膜带位于该通孔的正上方。

4.根据权利要求1所述的MEMS麦克风贴膜设备，其特征在于，还包括：

整形机构，包括整形装置和驱动所述整形装置的整形驱动装置，其中，所述整形装置上设有一凹坑组，该凹坑组包括与所述取料吸嘴数量相同的凹坑，且所述凹坑的大小、形状和排布与所述工位组的工位相同。

5.根据权利要求1所述的MEMS麦克风贴膜设备，其特征在于，所述送膜机构还包括为所述送膜轮和/或收膜轮提供阻尼力的阻尼装置。

6.根据权利要求1所述的MEMS麦克风贴膜设备，其特征在于，所述贴膜驱动装置包括驱动所述铲刀和吸嘴沿所述膜带长度方向移动的X向驱动装置、驱动所述铲刀和吸嘴沿所述膜带宽度方向移动的Y向驱动装置、以及驱动吸嘴沿所述膜带厚度方向移动的Z向驱动装置。

7.根据权利要求1所述的MEMS麦克风贴膜设备，其特征在于，还包括：

压紧机构，用于按压已贴附在所述MEMS麦克风上的所述膜片，其中，该压紧机构包括压紧装置，以及驱动所述压紧装置的压紧驱动装置，所述压紧装置用于按压的表面具有弹性。

8.根据权利要求1所述的MEMS麦克风贴膜设备，其特征在于，还包括：

检测机构，设置在所述转盘上，用于检测所述工位组上的MEMS麦克风是否呈预设的姿态放置。

9.根据权利要求1所述的MEMS麦克风贴膜设备，其特征在于，还包括：

上下料机构，具有依次放置的第一放置位、第二放置位和第三放置位，其中，在第一放置位的下方设有第一纵向驱动装置，在第三放置位的下方设有第二纵向驱动装置，在沿第一放置位向第三放置位的方向上设有横向驱动装置。

10.根据权利要求1至9中任意一项所述的MEMS麦克风贴膜设备，其特征在于，每一所述工位内设有用于吸附所述MEMS麦克风的气孔。