[发明专利]一种TFT‑LCD屏用复合薄膜及其制备方法在审
申请号: | 201710445999.4 | 申请日: | 2017-06-14 |
公开(公告)号: | CN107299325A | 公开(公告)日: | 2017-10-27 |
发明(设计)人: | 白航空 | 申请(专利权)人: | 合肥市惠科精密模具有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;C23C14/12;C23C14/10;C23C14/08;G02B1/14 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 230000 安徽省合肥市新站区九*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 tft lcd 复合 薄膜 及其 制备 方法 | ||
1.一种TFT-LCD屏用复合薄膜,其特征在于,包括依次层叠设置的硬涂层、PP基材、紫外光固化树脂层、二氧化硅层及ITO层。
2.根据权利要求1所述的一种TFT-LCD屏用复合薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)对包括硬涂层、PP基材及硬涂层的复合基材进行脱气预处理,将脱气处理后的复合基材置于镀膜设备中,采用脉冲直流电源、硅靶材在氧气氛围中在复合基材一侧的硬涂层表面溅射紫外光固化树脂层,得到复合基材/紫外光固化树脂层;
(2)使用中频电源、硅靶材在氧气氛围中在所述复合基材/紫外光固化树脂层上溅射SiO2层,得到复合基材/紫外光固化树脂层/SiO2复合薄膜;
(3)使用直流电源、ITO靶在复合基材/紫外光固化树脂层/SiO2复合薄膜的SiO2层上溅射ITO层,得到所述TFT-LCD屏用复合薄膜,直流电源的工作功率为4-5KW。
3.根据权利要求1所述的一种TFT-LCD屏用复合薄膜,其特征在于:所述步骤(1)中脉冲直流电源的工作功率为4-6KW,氧气流量为25-40sccm。
4.根据权利要求1所述的一种TFT-LCD屏用复合薄膜,其特征在于:所述步骤(2)中频电源的工作功率为12KW,氧气的流量为200-450sccm。
5.根据权利要求1所述的一种TFT-LCD屏用复合薄膜,其特征在于:所述紫外光固化树脂层包括高官能度聚氨酯丙烯酸树脂、中官能度聚氨酯丙烯酸树脂和有机硅改性丙烯酸酯树脂。
6.根据权利要求1所述的一种TFT-LCD屏用复合薄膜,其特征在于:所述紫外光固化树脂层是将高官能度聚氨酯丙烯酸树脂、中官能度聚氨酯丙烯酸树脂和有机硅改性丙烯酸酯树脂在温度12~20℃冷鼓上冷却形成复合铸片,以10~30m/min的速度进入3~5m长、温度65~95℃的纵向拉伸段拉伸3-5倍后,将经纵向拉伸的复合薄坯片以22~46m/min的速度冷却至15~45℃,进行电晕处理,经纵向拉伸和电晕处理的复合薄坯片采用凹版或条缝或气刀在温度100~135℃的预热段除去水分,然后在温度135~155℃的横向拉伸段拉伸2~8倍,热定型段定型1~8min,得到紫外光固化树脂层。
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