[发明专利]提升PERC背钝化效果的电池制备方法

权利要求书

1.一种提升PERC背钝化效果的电池制备方法，包括在硅片上进行清洗、扩散、洗磷、背钝化、正面镀膜、激光刻槽和丝网印刷，其特征在于，在洗磷和背钝化工艺之间增加热氧化工艺；

所述热氧化具体包括，

步骤1：将硅片送入炉中，其中进舟时间为750s，通大氮进行保护，其中，大氮的流量为8000～15000sccm；

步骤2：硅片送入炉中过后，通小氧进行热氧化，小氧的流量范围为20～200sccm，通氧时间为3000～5000s，同时通大氮，大氮的流量范围为8000～15000sccm之间；

步骤3：热氧化结束后，关闭小氧流量器，继续通大氮进行保护，其中，大氮的流量范围为8000～15000sccm之间，出舟时间为750s。

2.如权利要求1所述的提升PERC背钝化效果的电池制备方法，其特征在于：具体步骤包括：

清洗，将硅片在HF/HNO₃混合溶液中清洗，去除表面损伤层、切割线痕以及金属离子等；

扩散，将硅片进行常压扩散，其方阻控制在70Ω～150Ω范围内；

洗磷，利用HF/HNO₃和KOH进行清洗，除去表面的PSG和进行背面抛光；

热氧化，洗磷过后，将硅片送入氧化炉中，温度控制在500℃～900℃范围内，时间控制在50min～200min范围内；

背钝化：利用MAIA进行背钝化，利用MAIA设备同时镀上AlOx和SiNx层，其中总厚度控制在50nm～300nm之间；

正面镀膜，为减少正面反射，增加载流子寿命，提高电流，利用管式PECVD进行正面镀膜，其膜厚控制在50nm～120nm之间；

激光刻槽，为了导出电流，将硅片背面进行激光开凿，其中孔直径控制在50um～250um之间；

丝网印刷，将刻槽后的硅片进行丝网印刷烧结背铝浆、背电极和正电极即可。