[发明专利]一种圆片清洗机用的喷头及圆片清洗机

权利要求书

1.一种圆片清洗机用的喷头，其特征在于：包括喷嘴和套于所述喷嘴外可旋转的水流形状调节环(2)，所述喷嘴与所述水流形状调节环(2)之间还设置有水流大小控制阀门(3)，水流大小控制阀门(3)通往水流形状调节环(2)一侧设置有水流扁平通道(5)，清洗液经过水流大小控制阀门(3)调节水流大小后流入水流扁平通道(5)，而后流至水流形状调节环(2)，通过旋转水流形状调节环(2)以调节水流的形状；

其中，所述水流扁平通道(5)的横截面呈椭圆柱形，所述水流形状调节环(2)内部横截面为椭圆柱形，清洗液经过水流大小控制阀门(3)调节水流大小后流入水流扁平通道(5)，其形状由圆柱形变为椭圆柱形，而后流至水流形状调节环(2)，通过水流形状调节环(2)可调节水流的形状。

2.如权利要求1所述的圆片清洗机用的喷头，其特征在于：所述水流形状调节环(2)和所述喷嘴螺纹连接；水流形状调节环(2)为一阀门，通过螺纹与所述喷嘴连接。

3.如权利要求2所述的圆片清洗机用的喷头，其特征在于：旋转水流形状调节环(2)可控制出水孔的出水宽度x，经过调节出水宽度x后的清洗液直接喷出。

4.一种圆片清洗机，其包括权利要求1-3任意一项所述的圆片清洗机用的喷头。

5.如权利要求4所述的圆片清洗机，其特征在于，还包括：

圆片转速检测单元，用于检测圆片的转速RPM；

喷头喷水宽度检测单元，用于检测喷头喷水的有效清洗宽度x；

喷头移动控制单元或圆片移动控制单元，用于接收圆片转速检测单元检测的圆片的转速RPM和喷头喷水宽度检测单元检测的喷头喷水的有效清洗宽度x，根据圆片转速检测单元检测的圆片的转速RPM和喷头喷水宽度检测单元检测的喷头喷水的有效清洗宽度x移动喷头或圆片。

6.如权利要求5所述的圆片清洗机，其特征在于：所述喷头或所述圆片的移动速度v＝[RPM·x/60]·2，单位为毫米/秒。

7.如权利要求5所述的圆片清洗机，其特征在于，

所述圆片转速检测单元先于所述喷头喷水宽度检测单元工作；或者，所述喷头喷水宽度检测单元先于所述圆片转速检测单元工作。