[发明专利]一种自动对位装置和曝光设备及其曝光方法

权利要求书

1.一种自动对位装置，其特征在于，包括安装架，固定联接于安装架下侧的下镜头机构，安装于下镜头上侧的下菲林机构，安装于下菲林机构上方的上菲林机构，及安装于上菲林机构上方的上镜头机构；所述上镜头机构、下镜头机构均设有若干个镜头组件，并通过镜头组件采集定位图像，以相应控制上菲林机构、下菲林机构的位置；

所述的上菲林机构和下菲林机构均包括菲林安装板，设于菲林安装板一侧的透明板，及固定于菲林安装板且用于从二个方向调节透明板位置的若干个动力组件；所述透明板与菲林安装板通过设有的若干个滑动件滑动联接；所述动力组件包括菲林动力件，与菲林动力件传动联接的丝杆件，及设于丝杆件动力输出端与透明板之间的铰接件；所述铰接件设有的铰接杆一端与透明板滑动联接，另一端与丝杆件的传动螺母铰接。

2.根据权利要求1所述的一种自动对位装置，其特征在于，所述的上菲林机构的进料端与出料端的上侧对称设有二个上镜头机构；所述的上镜头机构包括上安装座，滑动联接于上安装座的滑动板，及固定联接于滑动板的镜头组件；所述上安装座设有用于驱动滑动板滑动运动的上镜头动力件；所述镜头组件朝下近于上菲林机构设置；

所述镜头组件通过设有的调节组件与滑动板固定联接；所述调节组件包括滑动联接于滑动板的X向滑板，滑动联接于X向滑板的Y向滑板，及滑动联接于Y向滑板的Z向滑板；所述滑动板设有用于调节X向滑板的X调节件；所述X向滑板设有用于调节Y向滑板的Y调节件；所述Y向滑板设有用于调节Z向滑板的Z调节件；所述镜头组件设于Z向滑板。

3.根据权利要求1所述的一种自动对位装置，其特征在于，所述的下菲林机构的进料端与出料端的下侧对称设有二个下镜头机构；所述的下镜头机构包括Y向安装板，滑动联接于Y向安装板两侧的X向安装板，及固定于X向安装板的镜头组件；所述镜头组件朝上近于下菲林机构设置；所述Y向安装板设有用于驱动X向安装板的Y向动力件；所述X向安装板设有用于驱动镜头组件的X向动力件；

所述镜头组件滑动联接于与X向安装板，且X向安装板设有竖直方向调节镜头组件的Z向调节件。

4.根据权利要求1所述的一种自动对位装置，其特征在于，所述上菲林机构或下菲林机构均设有升降机构；所述升降机构包括用于支撑上菲林机构或下菲林机构且固定于安装架的若干个导向件，用于驱动上菲林机构或下菲林机构上下运动的竖直动力件；所述上菲林机构或下菲林机构与安装架之间设有缓冲件；

所述上菲林机构或下菲林机构均设有水平运动机构；所述水平运动机构设有与升降机构固定联接的水平板，且所述上菲林机构或下菲林机构与水平板滑动联接；所述水平板设有用于驱动上菲林机构或下菲林机构水平运动的水平动力件。

5.一种带有自动对位装置的曝光设备，其特征在于，包括机架，权利要求1至4任一项所述的自动对位装置，固定于机架进料端的放料机构及固定于机架出料端的收料机构；所述机架近于自动对位装置的上菲林机构上侧设有上光源机构，近于下菲林机构设有下光源机构。

6.根据权利要求5所述的一种带有自动对位装置的曝光设备，其特征在于，所述的放料机构、收料机构均设有固定于机架的支撑板，旋转联接于支撑板的支座，旋转联接于支座一侧的膨胀组件，及用于驱动膨胀组件旋转运动的膨胀动力件；

其中，膨胀组件包括与支座旋转联接的空心轴，固定联接于空心轴且远于支座一端的膨胀轴；空心轴与所述膨胀动力件传动联接，且空心轴内侧设有通孔；所述膨胀轴内侧设有内腔；所述膨胀轴外周设有若干个与内腔联通的活动块，且活动块为楔形结构；所述内腔设有往复运动的锥形膨胀块；所述锥形膨胀块一端与设有的膨胀拉杆联接；所述膨胀拉杆贯穿通孔并且延伸至空心轴外端，以使与设有的拉杆动力件传动联接；

所述拉杆动力件通过膨胀拉杆驱动锥形膨胀块于内腔往复运动，锥形膨胀块的锥形面与活动块的楔形面相互滑动联接，以推动活动块径向运动。