[发明专利]一种自动对位装置和曝光设备及其曝光方法有效
申请号: | 201710455414.7 | 申请日: | 2017-06-16 |
公开(公告)号: | CN107024842B | 公开(公告)日: | 2018-11-13 |
发明(设计)人: | 叶永禄 | 申请(专利权)人: | 深圳市前海野马自动化设备有限公司 |
主分类号: | G03F9/00 | 分类号: | G03F9/00 |
代理公司: | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人: | 冯筠 |
地址: | 518000 广东省深圳市前海深港合作区前*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 自动 对位 装置 曝光 设备 及其 方法 | ||
本发明公开了一种自动对位装置和曝光设备及其曝光方法。一种自动对位装置包括安装架,固定联接于安装架下侧的下镜头机构,安装于下镜头上侧的下菲林机构,安装于下菲林机构上方的上菲林机构,及安装于上菲林机构上方的上镜头机构;上镜头机构、下镜头机构均设有若干个镜头组件,并通过镜头组件采集定位图像,以相应控制上菲林机构、下菲林机构的位置。本发明有效的避免了因裁切、冲挂孔所产生的干膜屑对曝光的影响,再有静电棒消除静电、除尘机构除尘、空气净化等来保证基材的洁净度。采用高分辨率镜头组件进行实时监控对位情况,提高了对位的精度。全过程自动化操作,节省人工成本,提高了生产效率。
技术领域
本发明涉及FPC生产设备技术领域,更具体地说是指一种自动对位装置和曝光设备及其曝光方法。
背景技术
目前国内FPC生产的曝光工序均采用片材对位模式。片材对位模式在生产中需人工把压完干膜的基材裁切开来,裁切的过程会产生干膜屑,需反复清洁防止曝光不良。在对位过程中,需求大量的技术熟练的工人来完成菲林与基材的对位,这种生产方式效率低,且易产生不良品。
随着产品的质量要求越来越高,精度要求也越来越高,人工对位的生产方式越来越达不到生产的要求。国内外市场也有部分实现自动化生产,但是,现有的自动对位曝光设备也均采用片材对位,需人工放置基材,且用人工将基材上的挂孔位的干膜压破挂入,在挂孔过程也会产生干膜屑,对后面的曝光等工序也存在很大的影响,而且生产效率亦比较低下。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术的缺陷,提供一种自动对位装置和曝光设备及其曝光方法。
为实现上述目的,本发明采用以下技术方案:
一种自动对位装置,包括安装架,固定联接于安装架下侧的下镜头机构,安装于下镜头上侧的下菲林机构,安装于下菲林机构上方的上菲林机构,及安装于上菲林机构上方的上镜头机构;所述上镜头机构、下镜头机构均设有若干个镜头组件,并通过镜头组件采集定位图像,以相应控制上菲林机构、下菲林机构的位置。
其进一步技术方案为:所述的上菲林机构和下菲林机构均包括菲林安装板,设于菲林安装板一侧的透明板,及固定于菲林安装板且用于从二个方向调节透明板位置的若干个动力组件;所述透明板与菲林安装板通过设有的若干个滑动件滑动联接;所述动力组件包括菲林动力件,与菲林动力件传动联接的丝杆件,及设于丝杆件动力输出端与透明板之间的铰接件;所述铰接件设有的铰接杆一端与透明板滑动联接,另一端与丝杆件的传动螺母铰接。
其进一步技术方案为:所述的上菲林机构的进料端与出料端的上侧对称设有二个上镜头机构;所述的上镜头机构包括上安装座,滑动联接于上安装座的滑动板,及固定联接于滑动板的镜头组件;所述上安装座设有用于驱动滑动板滑动运动的上镜头动力件;所述镜头组件朝下近于上菲林机构设置;
所述镜头组件通过设有的调节组件与滑动板固定联接;所述调节组件包括滑动联接于滑动板的X向滑板,滑动联接于X向滑板的Y向滑板,及滑动联接于Y向滑板的Z向滑板;所述滑动板设有用于调节X向滑板的X调节件;所述X向滑板设有用于调节Y向滑板的Y调节件;所述Y向滑板设有用于调节Z向滑板的Z调节件;所述镜头组件设于Z向滑板。
其进一步技术方案为:所述的下菲林机构的进料端与出料端的下侧对称设有二个下镜头机构;所述的下镜头机构包括Y向安装板,滑动联接于Y向安装板两侧的X向安装板,及固定于X向安装板的镜头组件;所述镜头组件朝上近于下菲林机构设置;所述Y向安装板设有用于驱动X向安装板的Y向动力件;所述X向安装板设有用于驱动镜头组件的X向动力件;
所述镜头组件滑动联接于与X向安装板,且X向安装板设有竖直方向调节镜头组件的Z向调节件。
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