[发明专利]影像辅助的置晶方法及置晶设备

权利要求书

1.一种影像辅助的置晶方法，用于移动置晶设备的置晶构件至待置晶基板的待置晶部位，所述的置晶设备包括置晶机构、基准影像撷取机构及对位影像撷取机构，所述的置晶机构包括所述的置晶构件及设置于所述的置晶构件外围的影像基准构件，所述的置晶方法包含：

取晶步骤，利用所述的置晶构件吸取晶片；

基准影像撷取步骤，利用所述的基准影像撷取机构自所述的影像基准构件的对向方向撷取涵盖有所述的影像基准构件以及所述的置晶构件吸取的所述的晶片的基准影像，而得到所述的晶片与所述的影像基准构件之间的相对位置的影像基准构件对晶片相对位置关系信息；

对位影像撷取步骤，利用所述的对位影像撷取机构自所述的影像基准构件的背向方向撷取涵盖有所述的影像基准构件及待置晶基板的影像基准构件对基板位置关系影像；

计算处理步骤，依据所述的影像基准构件对基板位置关系影像以及所述的影像基准构件对晶片相对位置关系信息，而推算出所述的置晶构件吸取的所述的晶片位置与所述的待置晶基板上的待置晶部位之间的位置校正关系信息；

校正调整步骤，依据所述的位置校正关系信息而校正调整所述的置晶构件与所述的待置晶部位之间的相对位置，使所述的置晶构件吸取的所述的晶片的位置为对准所述的待置晶部位；以及

置晶步骤，使所述的置晶构件执行置晶。

2.如权利要求1所述的影像辅助的置晶方法，其特征在于，所述的计算处理步骤依据所述的影像基准构件对基板位置关系影像中的所述的待置晶基板的视觉特征以及所述的影像基准构件对晶片相对位置关系信息而推算出所述的位置校正关系信息。

3.一种置晶设备，包含：

置晶机构，包括置晶构件及设置于所述的置晶构件外围的影像基准构件，所述的置晶构件用以吸取晶片以及执行置晶；

基准影像撷取机构，经设置而自所述的影像基准构件及所述的置晶构件的对向方向撷取涵盖有所述的影像基准构件以及所述的置晶构件吸取的所述的晶片的基准影像，而得到所述的晶片与所述的影像基准构件之间的相对位置的影像基准构件对晶片相对位置关系信息；

对位影像撷取机构，经设置而自所述的影像基准构件的背向方向撷取涵盖有所述的影像基准构件及待置晶基板的影像基准构件对基板位置关系影像；

控制系统，包括：

移动单元，动力连接所述的置晶机构；

计算处理单元，讯号连接所述的基准影像撷取机构及所述的对位影像撷取机构，所述的计算处理单元经设置而依据所述的影像基准构件对基板位置关系影像以及所述的影像基准构件对晶片相对位置关系信息，而推算出所述的置晶构件吸取的所述的晶片位置与所述的待置晶基板上的待置晶部位之间的位置校正关系信息；以及

校正调整单元，讯号连接所述的计算处理单元及所述的移动单元，所述的校正调整单元经设置而依据所述的位置校正关系信息而校正调整所述的置晶构件与所述的待置晶部位之间的相对位置，使所述的置晶构件吸取的所述的晶片的位置为对准所述的待置晶部位。

4.如权利要求3所述的置晶设备，其特征在于，所述的影像基准构件为光罩或具有影像特征符号的透光构件。

5.如权利要求3所述的置晶设备，其特征在于，所述的校正调整单元依据所述的位置校正关系信息，控制所述的移动单元细微调整所述的置晶构件，使所述的置晶构件吸取的所述的晶片的位置为对准所述的待置晶部位。

6.如请求项3所述的置晶设备，其特征在于，还包括承载所述的待置晶基板的移动载台，所述的移动载台讯号连接所述的校正调整单元，所述的校正调整单元依据所述的位置校正关系信息，细微调整所述的移动载台以使所述的置晶构件吸取的所述的晶片的位置为对准所述的待置晶部位。

7.如请求项3所述的置晶设备，其特征在于，还包括标记，刻印于所述的待置晶基板，所述的计算处理单元依据所述的影像基准构件对基板位置关系影像中的所述的待置晶基板的所述的标记的影像以及所述的影像基准构件对晶片相对位置关系信息而推算出所述的位置校正关系信息。