[发明专利]一种阵列基板及其制作方法和液晶显示面板在审
申请号: | 201710468319.0 | 申请日: | 2017-06-20 |
公开(公告)号: | CN107170763A | 公开(公告)日: | 2017-09-15 |
发明(设计)人: | 邓竹明 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L21/77;G02F1/1362 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙)44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 阵列 及其 制作方法 液晶显示 面板 | ||
1.一种阵列基板的制作方法,其特征在于,所述阵列基板的制作方法包括以下步骤:
提供一基板;
在所述基板表面上设置第一金属层,以形成栅电极层图案;
在所述第一金属层上设置绝缘层;
在所述绝缘层上设置有源层,以形成有源层图案;
在所述有源层上设置第二金属层,以形成源漏极层图案;
铺设整层ITO层,所述ITO层与所述第二金属层的漏极电性连接;
在所述ITO层上设置钝化层,以形成钝化层图案;
通过蚀刻在所述漏极对应位置处形成通孔;
进行像素电极层的沉积形成像素电极图案,以使得所述像素电极图案通过所述通孔与所述ITO层电性连接。
2.根据权利要求1所述的阵列基板的制作方法,其特征在于,所述进行像素电极层的沉积形成像素电极图案的步骤,包括:
溅射沉积所述像素电极层后,并接着利用黄光及蚀刻工艺形成所述像素电极图案,以使得相邻的像素电极图案间隔设置。
3.根据权利要求1所述的阵列基板的制作方法,其特征在于,所述通过蚀刻在所述漏极对应位置处形成通孔的步骤,包括:
蚀刻所述漏极对应位置处的所述钝化层,以形成所述通孔。
4.根据权利要求1所述的阵列基板的制作方法,其特征在于,所述像素电极层的像素电极图案共同形成鱼骨形状的四畴结构。
5.根据权利要求1所述的阵列基板的制作方法,其特征在于,所述ITO层的ITO电极为整面且连续不断的面状结构。
6.一种阵列基板,其特征在于,所述阵列基板包括:
一基板;
一第一金属层,所述第一金属层设置于所述基板表面上;所述第一金属层包括薄膜晶体管的栅极;
一绝缘层,所述绝缘层设置于所述第一金属层上;
一有源层,所述有源层设置于所述绝缘层上;
一第二金属层,所述第二金属层设置于所述有源层上;所述第二金属层包括薄膜晶体管的源极、薄膜晶体管的漏极;
一ITO层,所述ITO层整面铺设在所述第二金属层上;
一钝化层,所述钝化层设置于所述ITO层上,用于隔离所述ITO层和像素电极层;
一所述像素电极层,所述像素电极层设置于所述钝化层上;所述像素电极层包括像素电极;
其中,所述ITO层与所述像素电极层电性连接,所述ITO层与所述第二金属层电性连接。
7.根据权利要求6所述的阵列基板,其特征在于,所述漏极对应位置处的所述钝化层设置有贯穿的通孔,以使得所述像素电极通过所述通孔与所述ITO层电性连接。
8.根据权利要求6所述的阵列基板,其特征在于,所述像素电极层的相邻的像素电极间隔设置;所述像素电极层的像素电极共同形成鱼骨形状的四畴结构。
9.根据权利要求6所述的阵列基板,其特征在于,所述ITO层的ITO电极为整面且连续不断的面状结构。
10.一种液晶显示面板,包括阵列基板、彩膜基板、以及设置于所述阵列基板与彩膜基板之间的液晶盒;其特征在于,
所述阵列基板包括:
一基板;
一第一金属层,所述第一金属层设置于所述基板表面上;所述第一金属层包括薄膜晶体管的栅极;
一绝缘层,所述绝缘层设置于所述第一金属层上;
一有源层,所述有源层设置于所述绝缘层上;
一第二金属层,所述第二金属层设置于所述有源层上;所述第二金属层包括薄膜晶体管的源极、薄膜晶体管的漏极;
一ITO层,所述ITO层整面铺设在所述第二金属层上;
一钝化层,所述钝化层设置于所述ITO层上,用于隔离所述ITO层和像素电极层;
一所述像素电极层,所述像素电极层设置于所述钝化层上;所述像素电极层包括像素电极;
其中,所述ITO层与所述像素电极层电性连接,所述ITO层与所述第二金属层电性连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的