[发明专利]一种真空机械手及基板转运装置

权利要求书

1.一种真空机械手，其特征在于，包括安装架体、机械手指和角度调节机构，所述安装架体上设有用于容纳所述机械手指的安装槽，所述机械手指的一端作为铰接端铰接在所述安装槽内，所述机械手指上设有与所述机械手指的转移面位于同一面的挡板，所述挡板位于所述机械手指的转移面与所述机械手指的铰接端之间，所述角度调节机构用于调节所述机械手指的转移面所在平面与所述安装槽的槽底所在平面的夹角；所述角度调节机构包括驱动单元以及与驱动单元的动力输出端连接的连杆；所述安装槽的侧壁开设有长孔，所述连杆的一端通过所述长孔伸入所述安装槽内，所述连杆伸入所述安装槽内的一端设有可移动体，所述可移动体位于所述安装槽的槽底与所述机械手指的底面之间；所述驱动单元用于驱动所述连杆带动所述可移动体沿着所述机械手指的手指走向运动；所述可移动体用于沿着所述机械手指的手指走向运动时调节所述机械手指的转移面所在平面与所述安装槽的槽底所在平面的夹角。

2.根据权利要求1所述的真空机械手，其特征在于，所述长孔的长孔走向与所述机械手指的手指走向相同；

所述机械手指的顶面包含所述机械手指的转移面，所述机械手指的底面与所述安装槽的槽底相对，所述驱动单元用于驱动所述连杆沿着所述长孔走向方向运动，使得所述连杆带动所述可移动体沿着所述机械手指的手指走向运动。

3.根据权利要求2所述的真空机械手，其特征在于，所述机械手指的一端通过转轴铰接在所述安装槽的侧壁；在所述机械手指的手指走向，所述机械手指的厚度沿着靠近所述转轴的方向逐渐增大；

所述机械手指的转移面所在平面与所述安装槽的槽底所在平面平行时，所述机械手指的转移面与所述安装槽的槽口平齐。

4.根据权利要求3所述的真空机械手，其特征在于，所述机械手指的转移面和所述机械手指的底面均为平面结构；所述机械手指的转移面所在平面与所述机械手指的底面所在平面之间具有夹角。

5.根据权利要求2所述的真空机械手，其特征在于，所述可移动体为滑块或转动件。

6.根据权利要求5所述的真空机械手，其特征在于，所述转动件为滚轮或轴承。

7.根据权利要求2所述的真空机械手，其特征在于，所述驱动单元包括丝杠马达，以及与所述丝杠马达的输出轴动力连接的丝杠，所述连杆螺纹连接在所述丝杠上，所述丝杠的杆长度方向与所述长孔走向方向相同。

8.根据权利要求2所述的真空机械手，其特征在于，所述驱动单元包括丝杠马达，以及与所述丝杠马达的输出轴动力连接的丝杠，所述丝杠螺纹连接有螺纹固定件，所述连杆设在所述螺纹固定件上，所述丝杠的杆长度方向与所述长孔走向方向相同。

9.根据权利要求1～8任一项所述的真空机械手，其特征在于，所述安装架体包括固定基座，以及至少两个设在所述固定基座的伸出部；每个所述伸出部开设一个所述安装槽，每个所述安装槽容纳一个所述机械手指；所述安装槽的槽走向方向与对应的伸出部的伸出方向相同；所述机械手指铰接在所述安装槽内靠近所述基座的端部。

10.一种基板转运装置，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述真空机械手。