[发明专利]一种真空机械手及基板转运装置

说明书

本发明公开一种真空机械手及基板转运装置，涉及装载技术领域，以减少基板在转移面的位置发生移动，甚至出现掉落的问题。所述真空机械手包括安装架体、机械手指和角度调节机构，安装架体上设有容纳机械手指的安装槽，机械手指的一端作为铰接端铰接在安装槽内，机械手指上设有与机械手指的转移面位于同一面的挡板，挡板位于机械手指的转移面与机械手指的铰接端之间，角度调节机构用于调节机械手指的转移面所在平面与安装槽的槽底所在平面的夹角。所述基板转运装置包括上述技术方案所提的真空机械手。本发明提供的真空机械手用于基板转运中。

技术领域

本发明涉及装载技术领域，尤其涉及一种真空机械手及基板转运装置。

背景技术

现有技术一般使用磁控溅射工艺在基板表面形成金属膜层，在这个过程中，一般需要使用机器人的机械手将基板转移至磁控溅射设备中，利用磁控溅射设备将金属材料溅射到基板表面。而由于磁控溅射设备的内部腔体为真空环境，因此，使用机器人的机械手将基板转移至磁控溅射设备的内部腔体所放置的基台时，无法采用常规的大气机械手的抽气式吸附单元吸附基板。

为了解决上述问题，在真空环境，只能在机器人的机械手指所具有的转移面设有多个摩擦垫片，以使得基板与摩擦垫片之间具有足够大的摩擦力，将基板转移至转移面，并以基板所在平面与重力方向垂直的方式将基板进行转运。但是，在基板转运的过程中，经常因为运动惯性、晃动等诸多原因，抵消一部分基板相对摩擦垫片的摩擦力，使得基板相对摩擦垫片的摩擦力不足，导致基板在转运过程中容易在转移面的位置发生移动，甚至出现掉落的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种真空机械手及基板转运装置，以减少基板在转移面的位置发生移动，甚至出现掉落的问题。

为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种真空机械手，该真空机械手包括安装架体、机械手指和角度调节机构，所述安装架体上设有用于容纳所述机械手指的安装槽，所述机械手指的一端作为铰接端铰接在所述安装槽内，所述机械手指上设有与所述机械手指的转移面位于同一面的挡板，所述挡板位于所述机械手指的转移面与所述机械手指的铰接端之间，所述角度调节机构用于调节所述机械手指的转移面所在平面与所述安装槽的槽底所在平面的夹角。

与现有技术相比，本发明提供的真空机械手中，机械手指的一端作为铰接端铰接在安装槽内，角度调节机构能够调节机械手指的转移面所在平面与安装槽的槽底所在平面的夹角，这使得角度调节机构增大机械手指的转移面所在平面与安装槽的槽底所在平面的夹角时，沿着靠近机械手指的铰接端的方向，基板与安装槽的槽底距离越来越小，因此，本发明提供的真空机械手将基板附着至机械手指的转移面后，能够在转运基板之前，通过角度调节机构增大机械手指的转移面所在平面与安装槽的槽底所在平面的夹角，使得基板在重力的作用下，基板即使发生移动，也只可能向着机械手指的铰接端方向移动；而由于机械手指上设有与机械手指的转移面位于同一面的挡板，挡板位于机械手指的转移面与机械手指的铰接端之间，因此，当基板向着机械手指的铰接端方向移动时，挡板能够阻挡基板向机械手指的铰接端方向移动，这样就能够减小基板在转移面的位置发生移动，甚至出现掉落的问题。

另外，本发明提供的真空机械手中，安装槽还能够容纳机械手指，这使得角度调节机构将机械手指的转移面所在平面与安装槽的槽底所在平面的夹角调整为0°时，机械手指能够收纳到安装槽中，使得本发明的真空机械手相当于现有技术的机械手，实现基板的卸载或装载。

本发明还提供了一种基板转运装置，其包括上述技术方案提供的真空机械手。

与现有技术相比，本发明提供的基板转运装置的有益效果与上述技术方案提供的真空机械手的有益效果相同。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本发明的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：