[发明专利]一种激光封装装置及封装方法

权利要求书

1.一种激光封装装置，其特征在于，所述激光封装装置将激光束照射至封装基底上，并形成一光斑，在与所述激光束行进路线的方向垂直的表面上所述光斑边缘至所述光斑中心的光强逐渐下降，所述光斑包括靠近所述光斑边缘的第一区段和靠近所述光斑中心的第二区段，所述第一区段的光强下降比率小于所述第二区段的光强下降比率，所述第一区段与所述第二区段的分界位置为第一拐点；

其中，所述第一区段包括靠近所述光斑中心的光强慢慢下降的近中心区段和靠近所述边缘部分的下降速度大于所述近中心区段的近边缘区段，所述近中心区段与所述近边缘区段的分界位置为第二拐点。

2.如权利要求1所述的激光封装装置，其特征在于，所述激光束的能量分布相对于所述激光束行进路线的方向呈对称分布。

3.如权利要求1所述的激光封装装置，其特征在于，所述光斑中心处的光强大于等于所述第一拐点处光强的95%。

4.如权利要求1所述的激光封装装置，其特征在于，所述第二拐点相对于所述光斑的中心对称分布。

5.如权利要求1所述的激光封装装置，其特征在于，所述第一区段为下降比率逐渐降低的曲线区段或为下降比率固定的直线区段。

6.如权利要求1所述的激光封装装置，其特征在于，所述第一拐点相对于所述光斑的中心对称分布。

7.如权利要求1所述的激光封装装置，其特征在于，所述光斑的能量分布还包括光强均匀的第三区段，所述第三区段位于所述第一区段外。

8.如权利要求1所述的激光封装装置，其特征在于，所述光斑的能量分布还包括光强由内至外降低的第三区段，所述第三区段位于所述第一区段外，所述第三区段的光强下降比率大于所述第一区段的光强下降比率。

9.如权利要求1-8任意一项所述的激光封装装置，其特征在于，所述激光封装装置包括：

光源组件，用于提供激光束；

整形组件，用于对所述激光束的光斑形貌进行整形；

扫描振镜，用于将所述激光束扫描至所述封装基底上。

10.如权利要求9所述的激光封装装置，其特征在于，所述扫描振镜上设置有成像镜组，所述扫描振镜通过所述成像镜组将所述激光束扫描至所述封装基底上。

11.如权利要求10所述的激光封装装置，其特征在于，所述成像镜组为远心场镜组。

12.如权利要求10所述的激光封装装置，其特征在于，所述成像镜组的焦距范围为290mm~310mm。

13.如权利要求9所述的激光封装装置，其特征在于，还包括：

扩束镜组，用于对激光束进行变倍；

所述扩束镜组位于所述光源组件和所述整形组件之间。

14.如权利要求13所述的激光封装装置，其特征在于，所述扩束镜组的变倍范围为1~2倍。

15.如权利要求9所述的激光封装装置，其特征在于，所述光源组件为红外激光器。

16.如权利要求15所述的激光封装装置，其特征在于，所述红外激光器包括光源和准直镜组，所述光源发射激光束，经所述准直镜组准直，以形成平行的激光束。

17.如权利要求9所述的激光封装装置，其特征在于，所述整形组件为衍射光学元件或折射光学元件或可变形镜或空间光调制器。

18.如权利要求9所述的激光封装装置，其特征在于，所述扫描振镜为二维扫描振镜，所述二维扫描振镜的扫描角度范围为±20°。