[发明专利]等离子体处理装置

权利要求书

1.一种等离子体处理装置，其利用等离子化了的处理气体对进行了真空排气的处理容器内的矩形的被处理基板实施等离子体处理，所述等离子体处理装置的特征在于，包括：

阴极电极，其在与该处理容器绝缘的状态下配置于所述处理容器内，经由匹配电路与高频电源连接，并且用于载置矩形的被处理基板；和

阳极电极部，其在与所述处理容器绝缘的状态下与所述阴极电极相对地配置，具有与所述被处理基板对应的矩形的平面形状，

所述阳极电极部，其在令从该阳极电极部的中央侧向外周侧去的方向为径向时，在所述径向上被分割成多个径向分割电极，这些径向分割电极分别在彼此绝缘的状态下与接地端连接，

所述多个径向分割电极中位于外周侧的径向分割电极设置于方环状的区域中，且在所述方环状的区域中在周向上被分割成位于所述阳极电极部的角部侧的多个角部分割电极和位于边部侧的多个边部分割电极，这些角部分割电极和边部分割电极分别在彼此绝缘的状态下与接地端连接，

在所述角部分割电极和边部分割电极中的至少一者的接地端侧设置有阻抗调整部，该阻抗调整部用于对从所述阴极电极经由等离子体至各角部分割电极或边部分割电极的接地端的电路的阻抗进行调整。

2.如权利要求1所述的等离子体处理装置，其特征在于：

被分割成所述角部分割电极和边部分割电极的径向分割电极是所述多个径向分割电极中位于最外周侧的电极。

3.如权利要求1或2所述的等离子体处理装置，其特征在于：

设置于所述角部分割电极和边部分割电极的至少一者的阻抗调整部被所述多个角部分割电极共用或被所述多个边部分割电极共用。

4.如权利要求1或2所述的等离子体处理装置，其特征在于：

在被分割成所述角部分割电极和边部分割电极的径向分割电极以外的径向分割电极的至少一个设置有阻抗调整部，该阻抗调整部用于对从所述阴极电极经由等离子体至各径向分割电极的接地端的电路的阻抗进行调整。

5.如权利要求1或2所述的等离子体处理装置，其特征在于：

所述阴极电极与频率彼此不同的多个高频电源连接，在设置有所述阻抗调整部的分割电极的接地端侧并联设置有与所述多个高频电源的各自频率对应的多个阻抗调整部。

6.如权利要求1或2所述的等离子体处理装置，其特征在于：

所述阻抗调整部能够改变阻抗值。