[发明专利]OLED蒸镀设备及其防粘板

权利要求书

1.一种OLED蒸镀设备，其特征在于，所述OLED蒸镀设备包括壳体，所述壳体内形成有蒸镀腔，所述蒸镀腔内用于放置被蒸镀基板和有机材料并在真空条件下使所述有机材料蒸发或升华并蒸镀到所述被蒸镀基板表面凝聚成膜，所述蒸镀设备内设有防粘板，所述防粘板覆盖所述壳体的内表面以对未蒸镀到所述被蒸镀基板上的所述有机材料进行收集，所述防粘板包括支撑基板和设于所述支撑基板表层的聚酰亚胺薄膜，未蒸镀到所述被蒸镀基板上的有机材料沉积在所述聚酰亚胺薄膜的表面。

2.根据权利要求1所述的OLED蒸镀设备，其特征在于，所述支撑基板为不锈钢板，所述聚酰亚胺薄膜为一层或多层。

3.根据权利要求1所述的OLED蒸镀设备，其特征在于，所述聚酰亚胺薄膜通过固定件与所述支撑基板相固定，所述固定件为螺钉或磁铁。

4.根据权利要求1所述的OLED蒸镀设备，其特征在于，所述聚酰亚胺薄膜表面经粗化处理形成粗糙结构以增加附着力。

5.根据权利要求4所述的OLED蒸镀设备，其特征在于，所述粗糙结构为设于所述聚酰亚胺薄膜表面的波纹齿结构、锯齿结构或阵列凹陷结构。

6.一种用于OLED蒸镀设备的防粘板，其特征在于，所述防粘板包括支撑基板和设于所述支撑基板表层的聚酰亚胺薄膜。

7.根据权利要求6所述的用于OLED蒸镀设备的防粘板，其特征在于，所述支撑基板为不锈钢板，所述聚酰亚胺薄膜为一层或多层。

8.根据权利要求6所述的用于OLED蒸镀设备的防粘板，其特征在于，所述聚酰亚胺薄膜通过固定件与所述支撑基板相固定，所述固定件为螺钉或磁铁。

9.根据权利要求6所述的用于OLED蒸镀设备的防粘板，其特征在于，所述聚酰亚胺薄膜表面经粗化处理形成粗糙结构以增加附着力。

10.根据权利要求9所述的用于OLED蒸镀设备的防粘板，其特征在于，所述粗糙结构为设于所述防粘板表面的波纹齿结构、锯齿结构或阵列凹陷结构。