[发明专利]OLED蒸镀设备及其防粘板

说明书

技术领域

本发明涉及显示器件技术领域，特别涉及一种OLED蒸镀设备及其防粘板。

背景技术

OLED(Organic Light Emitting Display)蒸镀技术，是将OLED有机材料和被蒸镀基板存放于真空环境下，加热有机材料，使有机材料蒸发或升华，并蒸镀到被蒸镀基板表面凝聚成膜的工艺，目前量产蒸镀机一般采用真空环境下点源或线源蒸发方式，有机材料利用率低于40％，绝大部分有机材料都成膜在蒸镀机腔体的防粘板上，防粘板需定期更换和清洗。

目前防粘板基本采用金属板固定于蒸镀机腔体内；由于防粘板数量多、型号不同，体积大、重量大、更换人工费时，影响生产效率；且防粘板的清洗需要大量的化学品反应清洗，清洗价格昂贵；清洗后的材料加大污染，回收难度大。

发明内容

本发明实施例提供一种OLED蒸镀设备及其防粘板，以解决现有技术中防粘板有机材料回收难度大的问题。

为解决上述技术问题，本发明实施例采用的一个技术方案是：提供一种OLED蒸镀设备，OLED蒸镀设备包括壳体，壳体内形成有蒸镀腔，蒸镀腔内用于放置被蒸镀基板和有机材料并在真空条件下使有机材料蒸发或升华蒸镀到被蒸镀基板表面凝聚成膜，蒸镀设备内设有防粘板，防粘板覆盖壳体的内表面以对未蒸镀到被蒸镀基板上的有机材料进行收集，防粘板包括支撑基板和设于支撑基板表层的聚酰亚胺薄膜，未蒸镀到被蒸镀基板上的有机材料沉积在聚酰亚胺薄膜的表面。

为解决上述技术问题，本发明实施例采用的另一个技术方案是：提供一种用于OLED蒸镀设备的防粘板，防粘板包括支撑基板和设于支撑基板表层的聚酰亚胺薄膜。

本发明的有益效果是：区别于现有技术的情况，本发明实施例提供的OLED蒸镀设备及其防粘板由于采用了聚酰亚胺薄膜来收集有机材料，在更换防粘板时可方便地将有机材料与聚酰亚胺薄膜进行机械剥离，使得有机材料的回收非常方便。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，其中：

图1是本发明实施例提供的OLED蒸镀设备的简化侧面结构示意图；

图2是本发明一实施例提供的用于OLED蒸镀设备的防粘板的简化侧面结构简化示意图；

图3是图2中所示的用于OLED蒸镀设备的防粘板的聚酰亚胺薄膜的一种侧视结构简化示意图；

图4是图2中所示的用于OLED蒸镀设备的防粘板的聚酰亚胺薄膜的另一种侧视结构简化示意图；

图5是图2中所示的用于OLED蒸镀设备的防粘板的聚酰亚胺薄膜的又一种俯视结构简化示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1，图1是本发明实施例提供的OLED蒸镀设备的简化侧面结构示意图。

如图1所示，本发明实施例提供一种OLED蒸镀设备10，该OLED蒸镀设备10包括壳体110，壳体110由多块板体围合构成，壳体110内形成有蒸镀腔120。其中，图1中只是示意性的显示了壳体110和蒸镀腔120的形状，在实际产品中，壳体110和蒸镀腔120的形状并不限于此。

蒸镀腔120内用于放置被蒸镀基板130和有机材料140并在真空条件下使有机材料140蒸发或升华并蒸镀到被蒸镀基板130表面凝聚成膜。其中，有机材料140通过容器141装设，容器141可以是任意适合的形状，被蒸镀的有机材料140一部分蒸镀到被蒸镀基板130的下表面，其余部分朝向壳体110蒸镀。

为了避免有机材料140蒸镀到壳体110的内壁上，蒸镀设备10内还设有防粘板150，防粘板150覆盖壳体110的内表面以对未蒸镀到被蒸镀基板130上的有机材料140进行收集。其中，壳体110的每一个内表面上可由一块防粘板150覆盖，或者由多块防粘板150拼接覆盖。防粘板150可为规则或不规则形状，可通过螺栓固定方式或卡扣固定方式固定在壳体110的内表面。

在本发明实施例中，防粘板150包括支撑基板151和设于支撑基板151表层的聚酰亚胺薄膜152，未蒸镀到被蒸镀基板130上的有机材料140可沉积在聚酰亚胺薄膜152的表面。