[发明专利]一种离子注入机束流均匀性调节装置在审
| 申请号： | 201710486138.0 | 申请日： | 2017-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN109119315A | 公开（公告）日： | 2019-01-01 |
| 发明（设计）人： | 何山 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 铁芯 均匀性调节 离子注入机 限位挡块 电位计 多磁极 联轴器 支撑杆 侧板 磁级 滑块 束流 丝杠 电机 半导体制造领域 离子注入装置 电位计支架 导向作用 电机支架 调整垫片 限位作用 运动执行 固定板 运动会 驱动 | ||
【权利要求书】：
1.本发明公开了一种离子注入机束流均匀性调节装置，该装置主要包括：支撑杆(1),丝杠(2),多磁极侧板(3),滑块(4),铁芯左(5),顶板(6),限位挡块(7),固定板(8),铁芯右(9)，电机(10)，电位计(11)，调整垫片(12)，电机支架(13)，联轴器(14)，电位计支架(15)。
2.根据权利要求1的宽带束离子注入机均匀性调节装置，其特征是整个装置分为两部分，驱动部分和执行部分，每个部分组合才能称为为完整的多磁级装置。
3.根据权利要求1的离子注入机均匀性调节装置，其特征是丝杠(2)带动铁芯左(5)或铁芯右(9)运动，并通过滑块(4)和限位挡块(7)起导向和限位作用。
4.根据权利要求1的宽带束离子注入机均匀性调节装置，其特征是每一个铁芯左(5)或铁芯右(9)都能在电机的拖动下独立运动，互不干涉。
5.根据权利要求1的宽带束离子注入机均匀性调节装置，其特征是铁芯左(5)或铁芯右(9)运动都能使支撑杆(1)带动电位计(11)运动，从而采集到铁芯的位置信息。
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