[发明专利]高纯二乙基碲的制备方法在审
申请号: | 201710492824.9 | 申请日: | 2017-06-26 |
公开(公告)号: | CN107312042A | 公开(公告)日: | 2017-11-03 |
发明(设计)人: | 董礼;刘子伟;刘宇;李胜帅;许从应;林俊元;潘兴华;万欣 | 申请(专利权)人: | 江苏南大光电材料股份有限公司 |
主分类号: | C07F11/00 | 分类号: | C07F11/00 |
代理公司: | 江苏圣典律师事务所32237 | 代理人: | 王玉国 |
地址: | 215021 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 高纯 乙基 制备 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种高纯二乙基碲的制备方法。
背景技术
目前,MO源是伴随着MOCVD技术而发展起来的。6N(6N=99.9999%)纯度的MO源(metal organic金属有机化合物)是制造半导体薄膜材料的主要金属源,常作为如GaN、GaAs、InP、A1GaAs等半导体超薄型膜材料的基础源。这些新型光电材料广泛应用于激光器、红外探测器、太阳能电池等高技术行业领域。
高纯二乙基碲是MO源系列产品中的一种,主要作用是红外探测TeCdHg薄膜材料的生长。在半导体工业中这些薄膜的性质跟二乙基碲的纯度关系非常大,极少量的杂质都会给半导体沉积层的性能带来极大的影响,因此需要使用高纯的二乙基碲(无机杂质含量≤1ppm)。化学气相沉积工艺对原材料的金属杂质含量有一定的要求,使用纯度99.9999%的高纯二乙基碲才可以保证生长材料的导电性,发光效率符合技术要求,其中主要控制的杂质包括Si、Mg、Cu、Fe、Zn、As等。
高纯二乙基碲是一种烷基金属有机化合物,由于二乙基碲特殊的臭味,且在空气中不稳定,氧化物对人体有毒害,以至于在合成中存在很大的危险性和不易控制性。合成纯化都在惰性气氛条件下完成,且合成更需在低温条件下完成。
获得有许多方法:1、金属单质和卤代烷直接反应制备法,但受到金属单质反应活性的影响,通常实现比较困难。2、二乙基碲由碲粉、甲醛合次硫酸氢钠、氢氧化钠,卤代烷经过化学合成得到,但该合成方法经过验证收率不高,后处理麻烦,且产品中的水无法彻底分离(核磁图谱显示水峰一直存在)。
因此,需要开发出一种能可靠制备高纯二乙基碲的方法,以满足国内LED企业的需求。
发明内容
本发明的目的是克服现有技术存在的不足,提供一种高纯二乙基碲的制备方法。
本发明的目的通过以下技术方案来实现:
高纯二乙基碲的制备方法,特点是:包括以下步骤:
1)原材料的处理;
2)制备乙基卤化镁醚溶液;
3)四氯化碲的醚溶液与乙基卤化镁的醚溶液反应生成二乙基碲;
4)对二乙基碲进行精馏处理。
进一步地,上述的高纯二乙基碲的制备方法,其中,步骤1),原材料包括镁屑、卤代烷、四氯化碲和醚溶剂。
进一步地,上述的高纯二乙基碲的制备方法,其中,卤代烷和醚溶剂进行除水、除杂质处理,四氯化碲采用真空加热法进行抽烘,除去杂质。
进一步地,上述的高纯二乙基碲的制备方法,其中,所述卤代烷为溴乙烷。
进一步地,上述的高纯二乙基碲的制备方法,其中,步骤2),在惰性气氛条件下,在具有搅拌、回流的烧瓶中,加入镁屑和无水醚溶剂,加入溴乙烷引发后继续滴加,制备成醚溶液。
进一步地,上述的高纯二乙基碲的制备方法,其中,步骤3)所述四氯化碲的醚溶液,是在四氯化碲中加入醚溶剂,搅拌,四氯化碲慢慢溶解,制备获得四氯化碲的醚溶液。
进一步地,上述的高纯二乙基碲的制备方法,其中,步骤3),将乙基卤化镁的醚溶液冷却至-30℃~-50℃,然后在搅拌下滴加四氯化碲的醚溶液,滴加完后继续搅拌。
进一步地,上述的高纯二乙基碲的制备方法,其中,步骤1)~4)均在惰性气体手套箱中进行。
进一步地,上述的高纯二乙基碲的制备方法,其中,所述惰性气体为氮气、氩气、氦气中的一种。
进一步地,上述的高纯二乙基碲的制备方法,其中,步骤4),二乙基碲精馏采用先常压、后减压的工艺方式。
进一步地,上述的高纯二乙基碲的制备方法,其中,精馏采用填料柱,填料为直径为1.5mm的θ型316L材质的不锈钢填料。
本发明与现有技术相比具有显著的优点和有益效果,具体体现在以下方面:
提供一种简便易行的制备高纯二乙基碲的方法,经过1HNMR(核磁共振)和ICP-OES(电感耦合等离子吸收光谱仪)检测,其产品纯度满足6N标准(无机杂质含量<1ppm),核磁图谱中不含醚溶剂峰和水峰,该制备方法获得的二乙基碲纯度高达99.9999%,杂质指标达到电子级要求,为TeCdHg薄膜生长提供可靠原料。制备工艺简单,适合批量生产。
附图说明
图1:高纯二乙基碲的化学结构式。
具体实施方式
为了对本发明的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解,现对照附图详细说明具体实施方案。
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