[发明专利]一种坩埚保护装置在审
申请号: | 201710492914.8 | 申请日: | 2017-06-26 |
公开(公告)号: | CN109112619A | 公开(公告)日: | 2019-01-01 |
发明(设计)人: | 明亮;黄美玲;瞿海斌;段金刚;邱昊 | 申请(专利权)人: | 湖南红太阳光电科技有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人: | 周长清;徐好 |
地址: | 410205 湖南省*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 护板 组合护板 上层 坩埚 下层 保护装置 坩埚底板 出气口 下凸部 灵活调整 坩埚盖板 出气 卡设 | ||
1.一种坩埚保护装置,包括坩埚底板(6)、设于坩埚底板(6)上的组合护板以及设于组合护板上部的坩埚盖板(7),其特征在于:所述组合护板包括下层护板(1)及上层护板(3),所述下层护板(1)上部设有出气口(2),所述上层护板(3)上部设有所述出气口(2),所述上层护板(3)下部设有下凸部(31),所述上层护板(3)的下凸部(31)卡设于所述下层护板(1)的出气口(2)内。
2.根据权利要求1所述的坩埚保护装置,其特征在于:所述下层护板(1)下部设有溢流口(4)。
3.根据权利要求1所述的坩埚保护装置,其特征在于:所述坩埚盖板(7)上设有进气口(71)。
4.根据权利要求1或2或3所述的坩埚保护装置,其特征在于:所述下层护板(1)左右两侧均设有螺栓孔(5),所述上层护板(3)左右两侧及上部均设有螺栓孔(5)。
5.根据权利要求1或2或3所述的坩埚保护装置,其特征在于:所述下层护板(1)的高度为60mm-600mm,所述上层护板(3)的高度为60mm-600mm。
6.根据权利要求5所述的坩埚保护装置,其特征在于:所述下层护板(1)和上层护板(3)的宽度为156 mm -1560mm。
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