[发明专利]一种坩埚保护装置

说明书

本发明公开了一种坩埚保护装置，包括坩埚底板、设于坩埚底板上的组合护板以及设于组合护板上部的坩埚盖板，所述组合护板包括下层护板及上层护板，所述下层护板上部设有出气口，所述上层护板上部设有所述出气口，所述上层护板下部设有下凸部，所述上层护板的下凸部卡设于所述下层护板的出气口内。本发明具有结构可靠、使用方便、能够根据坩埚高度灵活调整、有利于降低生产成本等优点。

技术领域

本发明涉及半导体、光伏器件的制造设备领域，尤其涉及一种坩埚保护装置。

背景技术

在多晶硅铸锭过程中，需要使用坩埚护板对石英坩埚进行保护，起到隔离污染作用。在实际使用过程中，需要将四块坩埚护板拼接固定在装有硅料的石英坩埚外侧，配合碳-碳盖板和碳-碳底板形成封闭的空间。

随着多晶铸锭技术的发展，铸锭的种类越来越多，主要包括：提纯锭、半熔高效多晶硅锭、全熔高效多晶铸锭和铸造单晶硅锭等。不同类型铸锭对坩埚高度要求也不一致，从而坩埚护板高度也要随之调整，导致现有的坩埚护板需要重新设计和购买，造成资源浪费。另一方面，在多晶铸锭过程中，由于坩埚质量或者装料细节等影响，在铸锭过程中会出现硅液溢流现象，容易导致坩埚护板全部损坏，造成铸锭成本大幅度增加。

发明内容

本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构可靠、使用方便、能够根据坩埚高度灵活调整、有利于降低生产成本的坩埚保护装置。

为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：

一种坩埚保护装置，包括坩埚底板、设于坩埚底板上的组合护板以及设于组合护板上部的坩埚盖板，所述组合护板包括下层护板及上层护板，所述下层护板上部设有出气口，所述上层护板上部设有所述出气口，所述上层护板下部设有下凸部，所述上层护板的下凸部卡设于所述下层护板的出气口内。

作为上述技术方案的进一步改进：

所述下层护板下部设有溢流口。

所述坩埚盖板上设有进气口。

所述下层护板左右两侧均设有螺栓孔，所述上层护板左右两侧及上部均设有螺栓孔。

所述下层护板的高度为60mm-600mm，所述上层护板的高度为60mm-600mm。

所述下层护板和上层护板的宽度为156 mm -1560mm。

与现有技术相比，本发明的优点在于：本发明公开的坩埚保护装置，其护板由下层护板及上层护板组合而成，从而可根据坩埚高度灵活调节护板的高度，同时下层护板的高度可灵活设置，在溢流时可避免造成大面积护板损坏；下层护板可采用现有的护板结构，上层护板可由现有的护板增设下凸部制成，无需做过多的结构改动，有利于节省原材料，降低生产成本；上层护板利用下凸部卡设于下层护板的出气口内，结构可靠、契合牢固，不易产生横向移动，且拆装方便快速。

附图说明

图1是本发明坩埚保护装置的结构示意图。

图2是本发明中的组合护板的结构示意图。

图3是本发明中的下层护板的结构示意图。

图4是本发明中的上层护板的结构示意图。

图中各标号表示：1、下层护板；2、出气口；3、上层护板；31、下凸部；4、溢流口；5、螺栓孔；6、坩埚底板；7、坩埚盖板；71、进气口；8、坩埚。

具体实施方式

以下结合说明书附图和具体实施例对本发明作进一步详细说明。