[发明专利]气体感测器的制作方法有效
| 申请号： | 201710494150.6 | 申请日： | 2017-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN107686965B | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 孟心飞;冉晓雯;陈兆轩;张宇帆 | 申请（专利权）人： | 财团法人交大思源基金会 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/14;G01N21/64 |
| 代理公司： | 11277 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 中国台湾*** | 国省代码： | 中国台湾;TW |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 气体 感测器 制作方法 | ||
1.一种气体感测器的制作方法，其特征在于：该气体感测器的制作方法包含准备步骤、感测单元形成步骤及金属层形成步骤，该准备步骤包括准备导电基板，该感测单元形成步骤包括在该导电基板上形成感测单元，该金属层形成步骤包括以蒸镀法在该感测单元上形成连续且厚度足以自行产生多个感测孔洞的金属层，而让该感测单元的表面自所述感测孔洞露出，其中，该感测单元形成步骤包括在该导电基板上形成导电高分子材料所制成的主动层而构成该感测单元，该金属层形成步骤包括在该主动层上形成该金属层。
2.如权利要求1所述的气体感测器的制作方法，其特征在于：该金属层形成步骤包括以热蒸镀方式形成厚度介于7nm～10nm的该金属层。
3.如权利要求1所述的气体感测器的制作方法，其特征在于：该感测单元形成步骤包括以溶液制程形成该主动层，并对该主动层进行烘干。
4.如权利要求3所述的气体感测器的制作方法，其特征在于：该溶液制程包括旋转涂布法、刮刀涂布法及喷墨式涂布法。
5.如权利要求1所述的气体感测器的制作方法，其特征在于：该气体感测器的制作方法还包含实施于该准备步骤后的预处理步骤，在臭氧条件下，以紫外光照射该导电基板。
6.如权利要求1所述的气体感测器的制作方法，其特征在于：该感测单元形成步骤的该主动层由聚噻吩共轭高分子所构成。
7.一种气体感测器的制作方法，其特征在于：该气体感测器的制作方法包含准备步骤、感测单元形成步骤及金属层形成步骤，该准备步骤包括准备导电基板，该感测单元形成步骤包括在该导电基板上形成感测单元，该金属层形成步骤包括以蒸镀法在该感测单元上形成连续且厚度足以自行产生多个感测孔洞的金属层，而让该感测单元的表面自所述感测孔洞露出，其中，该感测单元形成步骤包括在该导电基板上形成空穴注入层、在该空穴注入层上形成空穴传输层、及在该空穴传输层上形成发光层，而共同构成该感测单元，该金属层形成步骤包括在该发光层上形成该金属层。
8.如权利要求7所述的气体感测器的制作方法，其特征在于：该感测单元形成步骤包括以溶液制程形成该空穴注入层、该空穴传输层及该发光层。
9.如权利要求8所述的气体感测器的制作方法，其特征在于：该溶液制程包括旋转涂布法、刮刀涂布法及喷墨式涂布法。
10.如权利要求7所述的气体感测器的制作方法，其特征在于：该气体感测器的制作方法还包含实施于该准备步骤后的预处理步骤，在臭氧条件下，以紫外光照射该导电基板。
11.如权利要求7所述的气体感测器的制作方法，其特征在于：该金属层形成步骤包括以热蒸镀方式形成厚度介于7nm～10nm的该金属层。
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