[发明专利]气体感测器的制作方法

说明书

一种气体感测器的制作方法，包含一准备步骤、一感测单元形成步骤及一金属层形成步骤。该准备步骤包括准备一导电基板。该感测单元形成步骤包括在该导电基板上形成一感测单元。该金属层形成步骤包括以蒸镀法在该感测单元上形成连续且厚度足以自行产生多个感测孔洞的金属层，而让该感测单元的表面自所述感测孔洞露出。通过该金属层自行产生多个让该感测单元的表面露出的感测孔洞，能有效简化整体制程，及免除使用有机溶剂而避免该感测单元被破坏。

技术领域

本发明涉及一种气体感测器的制作方法，特别是涉及一种通过蒸镀法直接形成气体感测器的金属层的制作方法。

背景技术

一般而言，通过气体感测器来侦测氨(ammonia)的浓度，可作为监测环境污染、食物的新鲜程度或监控使用者呼吸而反应使用者身体健康状况的指标，因此，可侦测氨的气体感测器被广泛研究并大量应用于快速兴起的穿戴装置中。

参阅图1，现有的气体感测器的制作方法是先于一导电基板10上依序形成一感测层11后，将具有该感测层11的导电基板10浸泡在一具有多个聚苯乙烯微球(polystyreneball，PS ball)12的有机溶剂中，使所述聚苯乙烯微球12间隔地形成在该感测层11上。接着，再于该感测层11与所述聚苯乙烯微球12上沉积金属层13，随后以一胶带(图未示)粘贴位于所述聚苯乙烯微球12上的部分该金属层13，而将部分的该金属层13与所述聚苯乙烯微球12撕离该感测层11，以产生多个让该感测层11露出感测孔洞14。

以现有的方式制作该气体感测器，不仅制作程序繁复，且将具有该感测层11的导电基板10浸泡于有机溶剂中形成所述聚苯乙烯微球12时，有机溶剂容易破坏该感测层11，导致后续制作完成的气体感测器良率不佳。

发明内容

本发明的目的在于提供一种气体感测器的制作方法。

本发明气体感测器的制作方法包含一准备步骤、一感测单元形成步骤及一金属层形成步骤。该准备步骤包括准备一导电基板。该感测单元形成步骤包括在该导电基板上形成一感测单元。该金属层形成步骤包括以蒸镀法在感测单元上形成连续且厚度足以自行产生多个感测孔洞的金属层，而让该感测单元的表面自所述感测孔洞露出。

本发明的气体感测器的制作方法，该金属层形成步骤包括以热蒸镀方式形成厚度介于7nm～10nm的该金属层。

本发明的气体感测器的制作方法，该感测单元形成步骤包括在该导电基板上形成导电高分子材料所制成的主动层而构成该感测单元，该金属层形成步骤包括在该主动层上形成该金属层。

本发明的气体感测器的制作方法，该感测单元形成步骤包括在该导电基板上形成空穴注入层、在该空穴注入层上形成空穴传输层、及在该空穴传输层上形成发光层，而共同构成该感测单元，该金属层形成步骤包括在该发光层上形成该金属层。

本发明的气体感测器的制作方法，该感测单元形成步骤包括以溶液制程形成该主动层，并对该主动层进行烘干。

本发明的气体感测器的制作方法，该感测单元形成步骤包括以溶液制程形成该空穴注入层、该空穴传输层及该发光层。

本发明的气体感测器的制作方法，该溶液制程包括旋转涂布法、刮刀涂布法及喷墨式涂布法。

本发明的气体感测器的制作方法，还包含一实施于该准备步骤后的预处理步骤，在臭氧条件下，以紫外光照射该导电基板。

本发明的气体感测器的制作方法，该感测单元形成步骤的该主动层由聚噻吩共轭高分子所构成。

本发明的有益效果在于：通过直接在该感测单元上蒸镀该金属层，使该金属层能自行产生多个让该感测单元的表面露出的感测孔洞，无须如现有技术将元件浸泡有机溶剂或进行蚀刻的步骤，能有效简化整体制程，及免除使用有机溶剂而避免该感测单元被破坏。

附图说明