[发明专利]太阳能硅片检测系统在审
申请号: | 201710496596.2 | 申请日: | 2017-06-26 |
公开(公告)号: | CN107248497A | 公开(公告)日: | 2017-10-13 |
发明(设计)人: | 张兆民 | 申请(专利权)人: | 张兆民 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 221000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 太阳能 硅片 检测 系统 | ||
技术领域
本发明涉及太阳能硅片生产技术领域,特别是一种太阳能硅片检测系统。
背景技术
硅片是太阳能电池片的载体,硅片质量的好坏直接决定了太阳能电池片转换效率的高低,因此需要对来料硅片进行检测。该工序主要用来对硅片的一些技术参数进行在线测量,这些参数主要包括硅片表面不平整度、少子寿命、电阻率、P/N型和微裂纹等。该组设备分自动上下料、硅片传输、系统整合部分和四个检测模块。其中,光伏硅片检测仪对硅片表面不平整度进行检测,同时检测硅片的尺寸和对角线等外观参数;微裂纹检测模块用来检测硅片的内部微裂纹;另外还有两个检测模组,其中一个在线测试模组主要测试硅片体电阻率和硅片类型,另一个模块用于检测硅片的少子寿命。在进行少子寿命和电阻率检测之前,需要先对硅片的对角线、微裂纹进行检测,并自动剔除破损硅片。硅片检测设备能够自动装片和卸片,并且能够将不合格品放到固定位置,从而提高检测精度和效率。
发明内容
本发明需要解决的技术问题是提供一种精确度高的太阳能硅片检测系统。
为解决上述的技术问题,本发明的太阳能硅片检测系统,包括光伏检测仪,所述光伏检测仪与A/D转换器输入端相连接,所述A/D转换器输出端与下位机输入端相连接,所述下位机输出端与光电耦合单元输入端相连接,所述光电耦合单元输出端通过电磁阀与硅片储料系统相连接。
进一步的,所述光伏检测仪为两个。
更进一步的,所述光伏检测仪与A/D转换器之间设置有检测保护单元。
更进一步的,所述检测单元包括电压比较器LM293,所述其中一个光伏检测仪通过电阻R4和电容C3的串联电路接地,电阻R4和电容C3的中间连接点与电压比较器LM293的2号管脚相连接,电源V1通过电阻R2和电阻R3的串联电路接地,电阻R2和电阻R3中间连接点与电压比较器LM293的3号和5号管脚相连接,所述电阻R3两端并联电容C2;另外一个光伏检测仪通过电阻R1和电容C1的串联电路接地,电阻R1和电容C1的中间连接点与电压比较器LM293的6号管脚相连接,所述电压比较器LM293的1号和7号管脚与A/D转换器输入端相连接。
进一步的,所述下位机通过RS232接口与上位机相连接。
采用上述结构后,本发明通过设置两个光伏检测仪,可以将数据进行对比,另外通过检测保护单元可以很好的保护光伏检测仪,提高了太阳能硅片检测的精度。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。
图1为本发明太阳能硅片检测系统的结构框图。
图2为本发明检测保护单元的电路原理图。
图中:1为光伏检测仪,2为检测保护单元,3为A/D转换器,4为下位机,5为光电耦合单元,6为电磁阀,7为硅片储料系统,8为RS232接口,9为上位机
具体实施方式
如图1所示,本发明的太阳能硅片检测系统,包括光伏检测仪1,所述光伏检测仪1与A/D转换器3输入端相连接,所述A/D转换器3输出端与下位机4输入端相连接,所述下位机4输出端与光电耦合单元5输入端相连接,所述光电耦合单元5输出端通过电磁阀6与硅片储料系统7相连接。
进一步的,为了提高硅片检测的准确性和精度,所述光伏检测仪1为两个,这样可以将两个光伏检测仪1采集的数据进行对比,如果两个光伏检测仪采集到的数据相差较大,说明有光伏检测仪不能正常工作,需要更换使用。
更进一步的,为了更好的保护光伏检测仪,所述光伏检测仪1与A/D转换器3之间设置有检测保护单元2。如图2所示,所述检测单元包括电压比较器LM293,所述其中一个光伏检测仪通过电阻R4和电容C3的串联电路接地,电阻R4和电容C3的中间连接点与电压比较器LM293的2号管脚相连接,电源V1通过电阻R2和电阻R3的串联电路接地,电阻R2和电阻R3中间连接点与电压比较器LM293的3号和5号管脚相连接,所述电阻R3两端并联电容C2;另外一个光伏检测仪通过电阻R1和电容C1的串联电路接地,电阻R1和电容C1的中间连接点与电压比较器LM293的6号管脚相连接,所述电压比较器LM293的1号和7号管脚与A/D转换器输入端相连接。所述电压比较器LM293的1号和7号管脚通过电容C5接地,所述电压比较器LM293的1号和7号管脚通过电阻R5与电源V1相连接,电源V1为5V。其中,In1和In2为光伏检测仪检测到的测试信号。当下位机检测到硅片质量不合格时,则产生保护信号,断开电磁阀,使得硅片储料系统停止储料。
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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